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多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號HMPS-2050
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2017/7/2 13:08:24
  • 訪問次數(shù)5628
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        成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應(yīng)用技術(shù)科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機械以及成套工程技術(shù)和高級管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊伍和高級管理人材。其中包括有教授級高工、微波和電氣高級工程師、獲得美國MBA的高級經(jīng)濟師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡(luò)分析儀等完善的測試手段,計算機CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實驗系統(tǒng)以及必要的工藝和機械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設(shè)計、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術(shù)和理念直接引進國內(nèi),并經(jīng)過十余年堅持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域以及微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位,并已與國內(nèi)近百家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽。
 

微波設(shè)備
多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息
多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)
 
 
 
作者:0  來源:0  瀏覽:91次  更新:2007-11-22 15:06:13
 

HMPS-2050多用途微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

技術(shù)特點及用途

     系統(tǒng)采用HMG-2050,5Kw/2450MHz高穩(wěn)定程控微波功率源。運用完善的線路安全閉鎖控制系統(tǒng),使該系統(tǒng)工作壽命長,電氣性能優(yōu)良,安全可靠,操作簡單方便。

     微波傳輸系統(tǒng)由高性能微波環(huán)行器,銷釘調(diào)配器,帶反射波取樣的水負載以及外部連接波導組成。它確保反射波對磁控管的良好隔離,并能方便地調(diào)節(jié)*匹配,達到微波功率的*傳輸。

     下注式微波反應(yīng)腔可在很寬的運行范圍內(nèi)把微波功率耦合給等離子體,在等離子體放電室中產(chǎn)生高密度、高電離度、大面積均勻穩(wěn)定的微波放電。為確保穩(wěn)定工作, 腔壁采用雙層水冷。

     多端口等離子體放電腔帶812個端口,是雙層水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔。

系統(tǒng)主要用途: 1)金剛石等多種薄膜的化學汽相沉積的研究和中試加工;2)基片的刻蝕和灰化;3)作為高密度、寬束離子源;4)低溫氧化物的生長;5)等離子體表面處理和其它實驗加工。

 

技術(shù)參數(shù)
微波源:
HMG-2050
工作頻率:
2450±50MHz
輸出功率:
0.5 ~ 5kW 連續(xù)可調(diào)
功率穩(wěn)定度:
優(yōu)于±1%
輸出波導接口:
BJ-26 FD-26標準法蘭
輸入電源:
380V/50Hz±5% 三相四線
 冷卻水流量:
> 5L/min
微波反應(yīng)腔
下注TM013模式
微波放電腔:
多端口,帶雙層水冷
3)真空系統(tǒng):                真空系統(tǒng):
450L/min分子泵和旁路機組,中氣壓真空測控
氣路系統(tǒng):
4MFC控制
樣品支架系統(tǒng):
基板直徑φ100 mm,軸向調(diào)節(jié)距離:0150 mm
直流偏壓源:
V=300V I=100mA 

 

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