開始操作儀器便可以對形貌進行測量監(jiān)察
盡早識別誤差,節(jié)省糾正時間
儀器可輸出不同的輪廓數(shù)據(jù)格式,并對機械加工進行控制(死循環(huán))
增加靈活性和實用性
不同類型的旋轉(zhuǎn)對稱非球面址可用一套設(shè)備進行測量,不需額外增加設(shè)備
保證測量結(jié)果正確無誤
高精確度的Marsurf LD 120是精確測量工件的基礎(chǔ),垂直方向分辨率2nm,形狀誤差小于100nm,保證了非球面產(chǎn)品的再現(xiàn)性
整座測量系統(tǒng)固定在控制柜中,附加的減震裝置大大降低了周圍環(huán)境對設(shè)備精度的影響
與激光平涉儀比較,接觸式測量技術(shù)科實現(xiàn)光學(xué)粗糙度表面2D和3D測量,所以*可在加工前進行測量和修正(精磨)。