BTF-1200C-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱,有利于爐內(nèi)溫度場(chǎng)的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng),控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫,電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制,從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命,測(cè)溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù),無(wú)須操作人員的干預(yù),可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào),同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能,大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品,做到高性能、免維護(hù),提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。
zui高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ100*1600mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。) |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序,可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)(時(shí)間和距離)設(shè)定為程序控制。 |
加熱長(zhǎng)度 | 440mm |
恒溫長(zhǎng)度 | 200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相,220V,50Hz |