7500ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域包括:
環(huán)境樣品分析,包括自來水、地表水、地下水、海水以及各種土壤、廢棄物等的分析
半導(dǎo)體材料分析
玻璃、陶瓷和礦冶等樣品分析
地質(zhì)學(xué)研究
生物食品及醫(yī)藥臨床研究
核材料分析
石油化工樣品分析
法醫(yī)應(yīng)用與研究
近,與分離技術(shù)聯(lián)用進(jìn)行環(huán)境毒理、生命科學(xué)等領(lǐng)域的元素價(jià)態(tài)、形態(tài)分析成為ICP-MS技術(shù)應(yīng)用的一個(gè)焦點(diǎn)。
安捷倫Agilent 7500 ICP-MS分析特性:
可快速同時(shí)檢測(cè)周期表上幾乎所有元素
低的檢出限(低至ppq級(jí))
分析效益/成本比
寬的線性動(dòng)態(tài)范圍—可直接檢測(cè)從ppq到數(shù)百ppm濃度
譜線簡單、干擾小,準(zhǔn)確度和精密度好
需要樣品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分鐘/樣品)
檢測(cè)模式靈活多樣
半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析
固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等
液體:超純水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體:SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS可直接分析有機(jī)樣品。
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)已被用于測(cè)定一系列有機(jī)樣品的ppt級(jí)痕量污染元素。
7500ICP-MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀對(duì)其中一些樣品,其他方法無法得到滿意的結(jié)果,高功率屏蔽矩冷等離子體技術(shù)是的分析方法。
強(qiáng)堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等
常用有機(jī)溶劑——甲苯、二甲苯、IPA等
高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發(fā)性*的清洗劑——丙酮、甲醇等