21800系列閉合回路真空節(jié)流閥
21800系列閉合回路氣動(dòng)節(jié)流閘閥節(jié)流閥利用標(biāo)準(zhǔn)的 HVA21200系列真空閥門設(shè)計(jì)外加一個(gè)金屬節(jié)流調(diào)節(jié)裝置. 這個(gè)節(jié)流調(diào)節(jié)裝置包括了一個(gè)MKS 146C 真空規(guī)格測(cè)量和控制系統(tǒng)、歐姆龍模擬型光纖傳感器和放大器、一個(gè)氣動(dòng)壓力控制器和一個(gè)超大尺寸的 HVA 壓差執(zhí)行裝置. *的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動(dòng)減少到小. 這些真空閘閥真空腔內(nèi)沒(méi)有機(jī)械鎖,這樣此就非常有益于半導(dǎo)體制造和其他敏感過(guò)程要求操作時(shí)相對(duì)自由振動(dòng)的. 所有移動(dòng)的接頭都有硬軸,減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動(dòng)更容易. 這個(gè)系統(tǒng)在一個(gè)閉合回路中通過(guò)監(jiān)測(cè)閥門的實(shí)際位置和系統(tǒng)的壓力和電導(dǎo)來(lái)操作。在壓力/電導(dǎo)模式下, 這個(gè)真空閥門開(kāi)啟或者關(guān)閉直到MKS流量或壓力表監(jiān)控到需要的系統(tǒng)達(dá)到氣流量. 除了控制閥門, MKS 控制器可以監(jiān)控兩個(gè)計(jì)量表. 在真實(shí)位置模式, 閥門驅(qū)動(dòng)器活塞式被歐姆龍傳感器監(jiān)控的. 傳感器信號(hào)發(fā)送到 MKS 控制器, 然后相應(yīng)的與所需要的閥位到啟動(dòng)壓力控制器. 壓力控制器控制壓差適用于控制活塞按照要求的方向移動(dòng).
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 節(jié)流控制機(jī)構(gòu)可以無(wú)限的從全開(kāi)到全關(guān)變化
2. 不銹鋼焊接波紋管
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 1000000使用周期(視系統(tǒng)而定)
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN100-DN300 mm |
漏率: | 2x10E-10 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-10 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動(dòng)方式： | 氣動(dòng) |
使用壽命: | 1000000使用周期 |
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品應(yīng)用
這些真空閘閥節(jié)流閥可以和低溫泵,渦輪分子泵,離子泵或者其他要求清潔,高效循環(huán),少量維修保養(yǎng)和緊閉關(guān)閉的低漏氣閥門.
21800系列閉合回路真空節(jié)流閥產(chǎn)品部件圖
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