智能勻膠機 型號:SC-100
SC-100智能勻膠機主要適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃等工藝制版及表面涂覆,各種光刻膠表面膜制備。
系統(tǒng)配置高速變頻馬達,變頻控制涂膠轉(zhuǎn)速、時間,使整個涂膠過程精確,穩(wěn)定。
主要技術(shù)指標
系統(tǒng)支持10個工藝組存儲,每個工藝組可設(shè)置4段運行速度及運行時間
勻膠速度: 0~8000rmp可調(diào)
勻膠時間: 1~9999s任意時間可設(shè)置
旋轉(zhuǎn)加速度:0~12000rpm/sec 由低速到高速加速時間0.1s~0.5s
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1rmp
涂膠均勻性:±3%
可鍍膜尺寸:Ф5~Ф150mm(6〞)
基片厚度: ≤5mm
其 它 配 置設(shè)備配置Ф260mm接膠裝置(不銹鋼材質(zhì))
電機額定功率90W,額定轉(zhuǎn)速8000rmp
真空系統(tǒng):FY-1C真空泵一臺,抽氣速率60L/min(標配)
AP-500V無油真空泵,抽氣速率100L/min(選配)
樣片托:隨機配1英寸一個,2英寸一個,其它規(guī)格尺寸按要求定做。
輸入電源: AC220V/240V 50HZ
機身尺寸: 280×360×240mm
機身重量:10Kg