HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列為百萬周期真空閘閥, 專為高真空應用而設計, 特別適合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤溫度不超過 150°C的應用.
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列內部沒有機械鎖, 非常適合對于要求無振動運行的半導體和敏感工藝. 所有活動關節(jié)的軸都經過硬化處理, 減少了顆粒物的產生并提供了更平穩(wěn)的驅動.
清潔和高密封性保證 HVA 真空閥門與低溫泵、渦輪分子泵, 離子泵等完美聯用.
上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區(qū)總代理商.
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品特點:
1. 直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器.
2. *的氣缸設計使沖擊和振動減少到zui小.
3. HVA真空閘閥 21200 系列真空腔內沒有機械鎖, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè).
4. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生并且使驅動更容易.
5. HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界zui小的內部表面區(qū)域.
6. 閥體和所有內部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的zui大完整性.
7. 在保養(yǎng)方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來.
8. 閥門驅動手動、氣動可選.
9. 標準或定制法蘭滿足不同應用.
10. HVA 標準周期真空閥門 21200 系列可任意位置安裝.
11. 電磁閥控制并帶有手動超控.
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列 技術參數：
閥門材質： | |
閥門主體 | 304不銹鋼 |
焊接波紋管軸封 | AM-350 |
驅動軸和驅動銷 | 硬質不繡鋼 |
密封件 | 氟橡膠 |
真空： | |
壓力范圍 | 1x10-9 mbar |
漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
差壓關閉 | 1 bar (任意位置) |
開啟前zui大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度（不含電磁閥）： | |
佛橡膠密封 | 150 °c |
驅動方式 | 手動 60 °c; 氣動 60 °c |
使用壽命：1,000,000啟閉次數 | |
公稱通徑：DN16-320 mm | |
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品訂貨號
DN | Model | |
mm | inch | Number |
16 | 0.625 | 21212-006_ |
40 | 1.5 | 21212-015_R |
50 | 2 | 21212-020_R |
63 | 2.5 | 21212-025_R |
80 | 3 | 21212-030_R |
100 | 4 | 21212-040_R |
160 | 6 | 21212-060_R |
200 | 8 | 21212-080_R |
250 | 10 | 21212-100_R |
320 | 12 | 21212-120_R |
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系列產品選件
1. 定制法蘭
2. 帶銅帽的特高壓版本
3. 備用O形圈材料
4. 備用螺線管電壓
5. 位置指示器的微動開關
6. 粗加工
7. 電機操作員
8. 高溫組件，包括O形圈，微動開關和執(zhí)行器。
9. 較大的尺寸
采購中心
