純度*的水。集成電路工業(yè)中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。
如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無硬度。超純水,是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.25MΩ*cm則稱為超純水。