膜厚控制儀
技術特點:
1. 全觸屏操作,簡單易用;
2.32個膜系,每膜系50/100層自動鍍膜;
3. 12路信號輸入/12路開關量輸出;
4. 提供全自動、半自動、手動控制模式;
5.可控制2個源,一套工作另一套預溶;
技術參數(shù)
| CY-FDC-S控制儀 |
晶振頻率 | 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體) |
顯示方式 | 5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實厚 |
操作方式 | 觸摸屏 |
終 厚 | 00μ0000?-99μ9999? |
厚度顯示分辨率 | 1?/s |
速率顯示分辨率 | 0.1?/s |
鍍膜層數(shù) | 32膜系,每膜系50/100層; |
探頭數(shù)量 | A B |
工具因子 | 0.01-99.99 |
時間顯示 | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
功率顯示 | 0~99.9% |
預熔功率 | 0~99% |
預鍍功率 | 0~99.9% |
預熔時間/預鍍時間 | 0~99:99 m:s |
預熔保溫時間 /預鍍保溫時間 | 0~99:99 m:s |
鍍膜速率(設定速率) | 0~999.9?/s |
材料存儲 | 257+自定義10種 |
通 訊 | RS232/RS485 |
可控蒸發(fā)源 | 2個,可一套工作另一套預溶 |
輸出控制 | ±10V/5V/2.5V |
I/接口 | 12路信號輸入/12路開關量輸出 |
可控坩堝數(shù)量 | 1-16個 |
鍍膜顯示 | 速率曲線/數(shù)值 |
鍍膜巡回次數(shù) | 每膜系50/100層自動 |
機箱尺寸 | 480×280×89mm(2U 19”機箱) |
特殊功能:
1、手動、半自動、自動3種鍍膜模式,滿足多種鍍膜機配置;
2、人工停止鍍膜:鍍膜過程中人工終止鍍膜;
3、手動控制:確定初次鍍膜工藝要求;
4、中斷膜系:自動和半自動鍍膜中發(fā)現(xiàn)問題或出現(xiàn)故障,能停止鍍膜并能自動保存當前狀態(tài),待故障**后,可從中斷膜系繼續(xù)鍍膜;
5、自動或半自動鍍膜時,如晶振失效,可選擇按終止鍍膜、按當前功率時間鍍膜、切換晶片繼續(xù)(多晶片探頭);
6、兩個源同時預熔:當前層鍍膜開始過程中,可選擇同時對第2層進行預熔,以滿足對時間要求緊張的場合;
7、密碼保護:膜系和膜層參數(shù)密碼保護功能,保護工藝參數(shù)不被非工藝人員修改;
8、鍍膜數(shù)據(jù)記錄:自動或半自動鍍膜時,系統(tǒng)可記錄每層膜的成膜時間、*終厚度速率參數(shù)。