產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
超純水制備中,TOC(總有機(jī)碳)的降解至關(guān)重要,采用UV-185nm低壓高能紫外技術(shù),并結(jié)合UV-254nm紫外線(xiàn)殺菌器,能夠通過(guò)高劑量的UV-185nm紫外光催化,在水中產(chǎn)生羥基自由基,對(duì)水中的有機(jī)物進(jìn)行氧化降解,以降低水中的TOC含量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
● 響應(yīng)時(shí)間少于5分鐘,可達(dá)到*氧化;
● 樣品的成分和氧化過(guò)程產(chǎn)生的副產(chǎn)品不會(huì)造成干擾;
● 使用可靠的NDIR技術(shù),保證在低濃度的情況下測(cè)量的準(zhǔn)確度;
● 的自診斷功能,自清洗系統(tǒng)。
● 檢出限為5μg/L,專(zhuān)為凝結(jié)水回用設(shè)計(jì)。
工作原理:
TOC降解器中裝有可產(chǎn)生185nm波長(zhǎng)的紫外燈管,當(dāng)純水用185nm紫外光直接照射時(shí),水中TOC與光子直接碰撞的幾率很低,靠水中TOC雜質(zhì)直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困難的,所以可以認(rèn)為185nm紫外光降解水中TOC時(shí)185nm紫外光先與水作用,引起水的均裂反應(yīng), 因而185nm紫外光照射水時(shí),在185nm紫外光所能照射的范圍內(nèi)可以產(chǎn)生中間體HO-,H·和eaq(水合電子),這些活性中間體再與水中有機(jī)物發(fā)生親電、親核或電子轉(zhuǎn)移反應(yīng),引起水中有機(jī)物的降解和礦化,并使其TOC濃度降低。
為什么會(huì)使用185nm波長(zhǎng):
根據(jù)中國(guó)目前超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)和研究水平的需要,為使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,*先在高純水設(shè)備中用185nm紫外線(xiàn)照射,使水中TOC降低到小于3μg/L,解決了兆位電路及大直徑硅片用高純水的關(guān)鍵技術(shù)難題。若不用185nm紫外線(xiàn)照射,目前高純水中TOC較好的只能做到20~50μg/L。
185nm紫外線(xiàn)是一種波長(zhǎng)較短、能量較高的超紫外線(xiàn),其能量相當(dāng)于6.7eV,而一般用于高純水中的為254nm波長(zhǎng)的紫外線(xiàn),其能量相當(dāng)于4.88eV,對(duì)于這兩種紫外線(xiàn)去除有機(jī)物,效果有所不同,下圖列出某些有機(jī)物化學(xué)鍵的鍵能及相應(yīng)的波長(zhǎng)。
化學(xué)鍵的鍵能表:
化學(xué)鍵 | 鍵能 | 化學(xué)鍵 | 鍵能 | ||||
kj.mol-1 | /eV | 波長(zhǎng)/nm | kj.mol-1 | /eV | 波長(zhǎng)/nm | ||
C-C C=C C=C C-F C-CI C-H C-O | 347.5 615.5 812.2 489.8 326.6 414.5 360.1 | 3.6 6.4 8.4 5.1 3.4 4.3 3.7 | 344 194 148 243 364 288 335 | C-O C-N C-N C-S C-O C-H Si-O | 728.5 305.6 824.8 477.3 594.5 467.1 467.1 | 7.6 3.2 6.4 4.9 6.2 4.8 4.8 | 163 387 194 253 200 258 258 |
根據(jù)上圖所列各種化學(xué)鍵,若用185nm紫外線(xiàn),除C≡C,C=O鍵外,其余化學(xué)鍵的鍵能均小于6.7eV,均能被破壞。若用254nm紫外線(xiàn),其鍵能為4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O鍵的鍵能均大于4.88eV,都不能被破壞,而O-H、Si-O鍵的鍵能與254nm紫外線(xiàn)接近,也不易被*破壞,因此許多有機(jī)物在185nm紫外線(xiàn)下被破壞,而在254nm波長(zhǎng)的紫外線(xiàn)下不能被破壞,這就是185nm紫外線(xiàn)更能有效地降低水中的TOC的道理。利用這一鍵能理論,以185nm紫外線(xiàn)照射高純水應(yīng)降低TOC,使兆位電路用水TOC下降到小于3μg/L,并在中國(guó)成功地用于ULSI和直徑200mm硅片及硬盤(pán)磁頭生產(chǎn)中,效果很好。
主要功能及特征:
a、用于超純水制配中TOC降解。
b、有超高的殺菌功效。
c、紫外線(xiàn)TOC降解設(shè)備必須安裝精制混床,以保證不增加新的TOC及恢復(fù)水中的電解氯。
d、TOC降解的幅度取決于水中TOC的構(gòu)成情況及紫外線(xiàn)TOC降解設(shè)備劑量設(shè)計(jì)。紫外線(xiàn)TOC降解設(shè)備能夠使TOC降到10ppb。
適用范圍:TOC分析儀適用于化工、石化和電廠(chǎng)凝結(jié)水回用的TOC分析
案例現(xiàn)場(chǎng):
應(yīng)用:EDI生產(chǎn)線(xiàn)
客戶(hù):通用電氣水處理技術(shù)有限公司
核心優(yōu)勢(shì):脫除TOC效率大于60%,性能穩(wěn)定可靠
概述:處理水量15T/H
項(xiàng)目概況:通用電氣公司(GE)是多元化服務(wù)性公司,世界500強(qiáng)之中位居前列。
檢驗(yàn)生產(chǎn)調(diào)試包裝
不銹鋼材質(zhì)分析及檢驗(yàn)
沛德水處理公司在采購(gòu)TOC降解器原材料后,檢測(cè)部的檢測(cè)人員都會(huì)對(duì)原材料進(jìn)行嚴(yán)格檢測(cè)。沛德水處理高價(jià)購(gòu)買(mǎi)(20萬(wàn))的手持式合金分析儀,具有革命性的GOLDD技術(shù),*的靈敏度與檢測(cè)精度。購(gòu)買(mǎi)手持式合金分析儀可謂是一種昂貴的投資,沛德水處理注重產(chǎn)品質(zhì)量控制,因此材料檢驗(yàn)一定要好的檢測(cè)設(shè)備。