ZXL-830D型氦質(zhì)譜檢漏儀
一、產(chǎn)品介紹
ZXL-830D型是一款配置無油干泵的氦質(zhì)譜檢漏儀。適用于對高清潔的真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。
二、主要技術(shù)指標(biāo)
1.最小可檢漏率:2×10-12Pa·m3/s
2.漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s
3.啟動時間:≤3min
4.響應(yīng)時間:≤1s
5.檢漏口的壓力:1500Pa
6.極限壓強(qiáng):5×10-4Pa
7.電源要求:220V,50Hz,單相,10A
8.工作環(huán)境:5-35℃
9.相對濕度:≤80%
10.外形尺寸:550(W)×420(D)×700(H)
11.重量:65kg
三、主要配置
1.進(jìn)口檢漏儀分子泵
2.進(jìn)口干泵
3.配置標(biāo)準(zhǔn)漏孔
4.美國AD放大器
5.采用質(zhì)譜模塊
6.臺達(dá)觸摸彩屏