多功能離子束研磨儀 Leica EM RES101
樣品制備
適宜為透射描電和掃描電鏡樣品制備, 在實驗室無需設立兩臺不同的儀器,結(jié)果節(jié)省成本。
局域網(wǎng)兼容
通過局域網(wǎng),用戶可以通過外部進行操控和監(jiān)視樣品處理過程,為用戶提供極大的靈活度和便利性。
液氮冷凍系統(tǒng)
可選配的LN2冷卻系統(tǒng),使用Cu質(zhì)地的專門的樣品臺,確保樣品真正冷卻,使對熱敏感的樣品進行樣品處理時無假象產(chǎn)生,適用于TEM和SEM樣品處理,使針對不同種類樣品處理的方法更靈活多變。
全自動多功能離子束研磨系統(tǒng),可進行離子減?。ㄓ糜赥EM);離子束拋光,離子刻蝕,樣品離子清洗及斜坡切割(用于SEM)等
離子束能量1keV 10keV,2把離子槍可分別±45°傾斜,樣品臺傾斜角度-120°至210°,離子束加工角度0°至90°,樣品平面擺動角度<360°,垂直擺動距離±5mm
可容納樣品尺寸:直徑25mm,高度12mm
可選配樣品臺:TEM樣品臺(Ø3.0mm或Ø2.3mm),F(xiàn)IB樣品清洗臺,SEM樣品臺,斜坡切割樣品臺(對樣品35°或90°斜坡切割)及相應冷凍樣品臺
全無油真空系統(tǒng),樣品室?guī)в蓄A抽室,保證樣品交換時間<1分鐘
全電腦控制,觸摸屏操作界面,內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),可實時觀察樣品出來過程