為工業(yè)和材料學應用而設計
奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設計，為廣泛的材料學和工業(yè)應用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報告創(chuàng)建的無縫工作流程。
高級的顯微觀察 便捷的顯微操作
用戶友好性
· 讓傳統(tǒng)技術易于操作：簡單的照明器
· 直觀的顯微鏡控制：視場光闌和孔徑光闌的簡單設置
· 快速找到焦點：對焦刻度標尺
· 一致的照明：智能光強管理
· 方便而人性化的操作
· 可恢復顯微鏡設置：編碼硬件
· 基本測量功能
功能性
· 讓未見變?yōu)榭梢姡篗IX觀察
· 創(chuàng)建超景深圖像：EFI
· 輕松移動載物臺即可進行全景拍攝：即時MIA
· 同時捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細節(jié)：HDR
· 可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求
· 容納各類樣品
精密的光學元件
· 的光學性能：波像差控制
· 穩(wěn)定的色溫和高強度白光LED照明
· 支持精密測量：自動校準
· 無縫拼接：圖像陰影校正
全面可定制性
· 可滿足用戶要求的各種配置
· 模塊化設計，構建自己的系統(tǒng)
直觀的顯微鏡控制
顯微檢查任務常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設置、獲取圖像，以及進行必要的測量，從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。
奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過其優(yōu)良的設計和便捷的控制功能，簡化了復雜的顯微檢查任務。用戶不需要長時間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，大程度減少了人為錯誤。
舒適且便于使用
讓傳統(tǒng)技術易于操作：簡單的照明器
照明器的設計大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來實現(xiàn)簡單偏光觀察的調(diào)節(jié)。
操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）
直觀的顯微鏡控制：視場光闌和孔徑光闌的簡單設置
使用正確的孔徑光闌和視場光闌設置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標志可引導用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進行正確的設置。
快速找到焦點：對焦刻度標尺
機架上的對焦刻度標尺可以讓操作者快速鎖定焦點。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對準焦點，從而在檢查具有不同高度的樣品時節(jié)省了時間。
一致的照明：智能光強管理
在初始設定時，可以調(diào)節(jié)照明強度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。
傳統(tǒng)的光強
傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會變得更暗。
智能光強管理
改變放大倍率或觀察方法時，顯微鏡自動調(diào)節(jié)光強到正確值。
方便而人性化的操作
人性化設計對所有用戶都至關重要。無論是單機顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設計的手動控制器。簡單的手動開關讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。
用于旋轉(zhuǎn)電動物鏡轉(zhuǎn)換器的手動開關 手動控制器 曝光按鈕
可恢復顯微鏡設置：編碼硬件
BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能可實現(xiàn)顯微鏡設置與每幅圖像一起自動保存，從而可輕松完成此后的還原設置，以及為報表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時間，又大程度地減小了使用不正確設置的概率。當前的觀察設置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。
操作步驟 | 操作者A | 操作者B |
不同的操作者使用不同的設置 |
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易于驗證正確的設置 |
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使觀察設置保持同步 |
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盡管操作者不同，但設置相同 |
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針對各種檢查和分析任務的功能
BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對比法，比如明場、暗場、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用的顯微鏡檢查技術來進行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對比法檢查時遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項為用戶提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。
此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號更大、更重、更特殊的樣品。
MIX觀察：讓未見變?yōu)榭梢?/span>
BX3M的MIX觀察技術組合了明場和暗場照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場照明，但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場與明場、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。
傳統(tǒng)的
明場將光線直接照射在樣品上，暗場則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。
MIX
MIX觀察是通過一個環(huán)形LED光源來形成明場、熒光或偏光與定向暗場的組合?？梢哉{(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個方向進行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無法觀察的表面上獲得的對比度并可突出表面特征。
即時MIA：輕松移動載物臺即可進行全景拍攝
現(xiàn)在不需要電動載物臺，僅僅移動手動載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。
一枚硬幣的即時MIA圖像。
EFI：創(chuàng)建超景深圖像
奧林巴斯Stream軟件的景深擴展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，把通過不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像。可以使用手動或電動Z軸機構來執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結(jié)構。也可以用Stream桌面版在離線時創(chuàng)建EFI圖像。
HDR：同時捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細節(jié)
高動態(tài)范圍（HDR）使用了的圖像處理技術，能夠針對一幅圖像內(nèi)的亮度差異進行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺效果，從而為用戶制作報告時提供專業(yè)的圖像。
借助HDR功能，同時清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細節(jié)
（樣品：燃油噴射器）
借助HDR功能，增強了對比度
（樣品：鎂切片）
測量
常規(guī)或基礎測量功能
通過奧林巴斯Stream軟件可以實現(xiàn)多種測量功能，從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時常常需要對圖像進行測量。所有級別的奧林巴斯Stream 軟件都包括了交互式的測量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測量結(jié)果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。
計數(shù)和測量
目標探測和尺寸分布測量，是數(shù)碼圖像中重要的應用。Stream軟件使用閾值分割方法進行目標探測，能夠可靠地從背景中分離目標（比如顆粒、劃痕）。
材料解決方案
奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面，可用于復雜的圖像分析。點擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復雜的圖像分析任務，并且符合常用的工業(yè)標準。由于明顯減少了重復任務的處理時間，因此材料學家們可以專注于分析和研究。還能夠在任何時候方便地添加用于夾雜物和標準評級圖對比的模塊化插件。
3D測量
使用外部電動對焦機構時，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測量，或通過單視圖進行3D測量。
3D表面視圖（粗糙度試驗樣品） 單視圖和3D剖面測量
容納各類樣品
可以容納更多的樣品類型和尺寸
新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設計，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實驗室空間。可調(diào)節(jié)扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。
樣品高度和重量的高適應性
BX53MRF-S
使用選配的模塊組件可以將105mm的樣品放置在載物臺上。由于改進了調(diào)焦機構，因此顯微鏡可以容納最重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實驗室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動時，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。
樣品尺寸大小的靈活性
BXFM
如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學部件組裝到一個模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。
兼容ESD：保護電子裝置，防止受到靜電放電的影響
BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導致的靜電的影響。
悠久歷史的光學技術
奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項光學質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測量精度。
的光學性能：波像差控制
使用顯微鏡進行高級研究或系統(tǒng)集成時，所有物鏡的光學性能必須標準化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會降低分辨率的像差，從而獲得的數(shù)值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標。
穩(wěn)定的色溫和高強度白光LED照明
BX3M為反射光和透射光照明提供了高強度的白光LED光源。無論強度是多少，LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長壽命的照明，是材料學檢測應用的理想工具。
通過鹵素燈獲得的高光強和低光強 通過LED獲得的高光強和低光強
支持精密測量：自動校準
類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時也能夠?qū)嵤┳詣有省Ｗ詣有氏诵蔬^程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測量結(jié)果。自動校準的算法采用多個測量點的平均值來自動計算正確的校準量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗證的可靠性。
無縫拼接：圖像陰影校正
可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正，以補償圖像角落四周的陰影。使用光強閾值設置時，陰影校正提供了更精確的分析。此外，使用MIA拼接圖像時，可以獲得更均勻的全景圖像。
1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)
左側(cè)圖片：圖像拼接時，原始圖像拼接處有陰影
右側(cè)圖片：陰影校正后，整個視野照明均勻
應用
反射光顯微鏡檢查涵蓋的應用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。
暗場觀察
暗場能夠觀察標本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會清晰地顯示出來。用戶甚至可以識別出極細微的劃痕，或小到8nm級別的缺陷 – 比光學顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場是檢測標本上細微劃痕或缺陷，以及鏡面標本（包括晶圓）的理想工具。
表面貼裝基板：DF
微分干涉觀察
微分干涉是一種顯微鏡觀察技術，這種技術把明場觀察所不能檢測到的標本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術使用了偏光，并有三種專門定制設計的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細微高度差的標本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。
球墨鑄鐵檢測：DIC
偏光觀察
這種顯微鏡觀察技術使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標本的特性直接影響顯微鏡反射光的強度。這種技術適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長的形態(tài)）、礦石、LCD和半導體材料。
絹云母：POL
熒光
該技術用于通過濾色片激發(fā)塊照明，使標本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應用。它適合于檢查半導體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過熒光染料檢測裂縫?？梢赃x配復消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱，以補償從可見光到近紅外光的色差。
半導體晶圓上的顆粒異物：FL
紅外光
IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構成的電子元器件內(nèi)部的方法。
電極切片：IR
透射光觀察
對于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進行透射光觀察。組建一個光學系統(tǒng)，實現(xiàn)透射光明場和偏光進行樣品檢查非常方便。
*系統(tǒng)化
模塊化的設計能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置，以滿足用戶的各種要求。
用于材料學的配置
BX53M反射和反射/透射觀察
BX53M IR觀察
BX3M系列有兩種顯微鏡機架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機架都可配置手動、編碼或電動部件，并且都配備有ESD防靜電功能。
BX53MRF-S配置圖例 BX53MTRF-S配置圖例
BX53M IR觀察
BX3M系列有兩種顯微鏡機架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機架都可配置手動、編碼或電動部件，并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過硅材料成像，進行半導體檢查和測量。配備了5倍到100倍紅外（IR）物鏡，提供了從可見光波長到近紅外的像差校正。對于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導致的像差。使用一個物鏡即可獲取清晰的圖像。
物鏡 | 放大倍率 | NA | W.D.(mm) | 蓋玻片厚度（mm） | 硅厚度（mm） | 分辨率*1(μm) |
LMPLN-IR | 5X 10X | 0.1 0.3 | 23 18 | 0-0.17 0-0.17 | — — | 6.71*3 2.24*3 |
LCPLN-IR*2 | 20X 50X 100X | 0.45 0.65 0.85 | 8.3 4.5 1.2 | 0-1.2 0-1.2 0-0.7 | 0-1.2 0-1.2 0-1.0 | 1.49*3 1.03*3 0.79*3 |
*1 孔徑光闌全開時計算的分辨率
*2 到FN22，不適用于FN26.5
*3 使用1100nm波長
IR物鏡 無校正環(huán) 有校正環(huán)
BX53M偏光觀察
BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像，是地質(zhì)學家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究，都得益于穩(wěn)定的顯微鏡系統(tǒng)性和精密的光學系統(tǒng)。
BX53M正像鏡檢偏光配置 BX53M錐光鏡檢偏光配置
用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡
采用U-CPA錐光觀察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡單而快捷?？梢郧逦貙购蠼蛊矫娴母缮鎴D樣。勃氏鏡的視場光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。
偏光附件
無應力光學元件
UPLFLN-P無應力物鏡得益于奧林巴斯的設計和制造技術，將內(nèi)部應力降這就意味著更高的EF值，從而可以得到的圖像反差。
UPLFLN-P無應力物鏡
UPLFLN-P系列 | ||
物鏡 | NA | W.D. |
UPLFLN 4XP | 0.13 | 17.0 mm |
UPLFLN 10XP | 0.3 | 10.0 mm |
UPLFLN 20XP | 0.5 | 2.1 mm |
UPLFLN 40XP | 0.75 | 0.51 mm |
UPLFLN 100XOP | 1.3 | 0.2 mm |
PLN-P | ||
物鏡 | NA | W.D. |
PLN 4XP | 0.1 | 18.5 mm |
ACHN-P系列 | ||
物鏡 | NA | W.D. |
ACHN 10X | 0.25 | 6.0 mm |
ACHN 20XP | 0.40 | 3.0 mm |
ACHN 40XP | 0.65 | 0.45 mm |
ACHN 100XOP | 1.25 | 0.13 mm |
種類豐富的補色器和波長板
提供了六種不同的補色器，用于測量巖石和礦物薄片的雙折射。測量光程差水平范圍從0到20λ。針對更方便的測量和高圖像反差，可以使用Berek和Senarmont補色器，它們能在整個視場內(nèi)改變光程差級別。
補色器的測量范圍
補色器 | 測量范圍 | 應用 |
厚Berek補色器（U-CTB） | 0-11000 nm(20_) | 高光程差級別的測量（R*>3λ），（晶體、高分子、纖維等） |
Berek補色器（U-CBE） | 0-1640 nm(3_) | 光程差級別的測量（晶體、高分子、活體生物等） |
Senarmont補色器（U-CSE） | 0-546 nm(1_) | 光程差級別的測量（晶體、活體生物等）圖像對比度的增強（活體生物等） |
Brace-Koehler補色器1/10λ（U- CBR1） | 0-55 nm(1/10_) | 低光程差級別的測量（活體生物等） |
Brace-Koehler補色器1/30λ（U- CBE2） | 0-20 nm(1/30_) | 低光程差級別的測量（活體生物等） |
石英楔（U-CWE2） | 500-2200 nm(4_) | 光程差級別的近似測量（晶體、高分子等） |
* R=光程差水平
對于大多數(shù)精確測量，建議補色器（除U-CWE2以外）與干涉濾色片45-IF546組合使用。
BXFM系統(tǒng)
BXFM適合于特殊應用，或整合進其它儀器中。模塊化結(jié)構，再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置，使其可以直接用于*的環(huán)境和配置。
模塊化設計，構建自己的系統(tǒng)
顯微鏡機架
兩種顯微鏡機架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時配備了一個適配器，以抬升照明器，適應更高的樣品。
■: 可用于 | 反射光 | 透射光 | 樣品高度 | |
1 | BX53MRF-S | ■ | 0-65 mm | |
2 | BX53MTRF-S | ■ | ■ | 0-35 mm |
1, 3 | BX53MRF-S + BX3M-ARMAD | ■ | 40-105 mm | |
2, 3 | BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD | ■ | ■ | 40-75 mm |
支架
兩種顯微鏡機架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時配備了一個適配器，以抬升照明器，適應更高的樣品。顯微鏡檢查時如果樣品不適合放在載物臺上，可以在更大的支架上或其它設備上安裝照明器和光學元件。
BXFM + BX53M照明器配置
1 | BXFM | 調(diào)焦機構/可安裝于φ32mm的支柱 |
2 | BX3M-ILH | 照明器托架 |
3 | BXFM-ILHSPU | BXFM用減振彈簧 |
5 | U-ST | 底座 |
6 | SZ-STL | 大底座 |
BXFM + U-KMAS照明器配置
1 | BXFM | 調(diào)焦機構/可安裝于φ32mm的支柱 |
4 | BXFM-ILHS | U-KMAS托架 |
5 | U-ST | 底座 |
6 | SZ-STL | 大底座 |
鏡筒
使用目鏡進行顯微鏡成像，或通過相機觀察時，請根據(jù)觀察過程中的成像類型和操作者的觀察姿勢選擇鏡筒。
FN | 類型 | 角度類型 | 圖像 | 屈光度調(diào)節(jié)裝置數(shù) | ||
1 | U-BI30-2 | 22 | 雙目 | 固定式 | 倒像 | 1 |
2 | U-TBI-3 | 22 | 雙目 | 傾斜式 | 倒像 | 1 |
3 | U-TR30-2 | 22 | 三目 | 固定式 | 倒像 | 1 |
4 | U-TR30IR | 22 | IR用三目 | 固定式 | 倒像 | 2 |
5 | U-ETR-4 | 22 | 三目 | 固定式 | 正像 | 2 |
6 | U-TTR-2 | 22 | 三目 | 傾斜式 | 倒像 | 2 |
7 | U-SWTR-3 | 26.5 | 三目 | 固定式 | 倒像 | 2 |
8 | U-SWETTR-5 | 26.5 | 三目 | 傾斜式 | 正像 | 2 |
9 | U-TLU | 22 | 單口鏡筒 | |||
10 | U-TLUIR | 22 | IR用單口鏡筒 | |||
照明器
照明器根據(jù)選擇的觀察方法將光線投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用，可以讀出分光鏡組件的位置，并自動識別觀察方法。
■: 可用于 | 編碼功能 | 光源 | BF | DF | DIC | POL | IR | FL | 混合 | AS/FS | |||
1 | BX3M-RLAS-S | 3個固定式分光鏡組件位置 | LED-內(nèi)置 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||
2 | BX3M-URAS-S | 4個可換裝的分光鏡組件位 置 | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||
鹵素燈 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
汞燈/光導 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
3 | BX3M-RLA-S | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||
鹵素燈 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||
4 | BX3M-KMA-S | LED-內(nèi)置 | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||||
5 | BX3-ARM | 透射光觀察鏡臂 | |||||||||||
6 | U-KMAS | LED | ■ | ■ | ■ | ■ | |||||||
鹵素燈 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | ||||||||
光源
用于樣品照明的光源和電源，請根據(jù)觀察方法選擇合適的光源。
標準LED光源配置
1 | BX3M-LEDR | 用于反射光的LED燈箱 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
3 | BX3M-PSLED | 用于LED燈箱的電源，需要BXFM系統(tǒng) |
4 | BX3M-LEDT | 用于透射光的LED燈箱 |
熒光光源配置
5 | U-LLGAD | 光導適配器 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
6, 7 | U-LLG150 (300) | 光導，長度：1.5米（3米） |
8 | U-HGLGPS | 用于熒光的光源 |
9, 10 | U-LH100HG(HGAPO) | 用于熒光的汞燈燈箱 |
2 | U-RCV | 使用BX3M-URAS-S，DF觀察時必須的DF轉(zhuǎn)換接口，BF觀察則視情況所需 |
11 | U-RFL-T | 用于100W汞燈的電源 |
鹵素燈和鹵素IR光源配置
12 | U-LH100L-3 | 鹵素燈燈箱 |
13 | U-LH100IR | IR用鹵素燈燈箱 |
14 | U-RMT | 鹵素燈燈箱的延長線，電纜長度1.7米（必要時需要延長線） |
15, 16 | TH4-100 (200) | 用于100W鹵素燈的100V（200V）電源 |
17 | TH4-HS | 鹵素燈光強調(diào)節(jié)開關（不用光強調(diào)節(jié)開關，也可以使用TH4-100（200）進行光強調(diào)節(jié)） |
物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類型；以及是否帶滑塊附件。
■:可用于 | 類型 | 孔數(shù) | BF | DF | DIC | MIX | ESD | 對中孔數(shù) | |
1 | U-P4RE | 手動 | 4 | ■ | 4 | ||||
2 | U-5RE-2 | 手動 | 5 | ■ | |||||
3 | U-5RES-ESD | 編碼 | 5 | ■ | ■ | ||||
4 | U-D6RE | 手動 | 6 | ■ | ■ | ||||
5 | U-D6RE-ESD-2 | 手動 | 6 | ■ | ■ | ■ | |||
6 | U-P6RE | 手動 | 6 | ■ | ■ | 2 | |||
7 | U-D7RE | 手動 | 7 | ■ | ■ | ||||
8 | U-D6RES | 手動 | 6 | ■ | ■ | ||||
9 | U-D7RES | 手動 | 7 | ■ | ■ | ||||
10 | U-D5BDREMC | 電動 | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
11 | U-5BDRE | 手動 | 5 | ■ | ■ | ||||
12 | U-D5BDRE | 手動 | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
13 | U-P5BDRE | 手動 | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | 2 | |
14 | U-D6BDRE | 手動 | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
15 | U-D5BDRES-ESD | 編碼 | 5 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |
16 | U-D6BDRES-S | 編碼 | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ■ | |
17 | U-D6REMC | 電動 | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
18 | U-D6BDREMC | 電動 | 6 | ■ | ■ | ■ | ■ | ||
滑塊
選擇DIC滑塊來補充常規(guī)的明場觀察。采用DIC滑塊后，在獲取有關樣品的形貌信息時，可以選擇高對比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來非常靈活，它在暗場光路中提供了分區(qū)的LED光源。
類型 | 棱鏡裂距大小 | 適用的物鏡 | ||
1 | U-DICR | 標準 | 中 | MPLFLN, MPLAPON, LMPLFLN, and LCPLFLN-LCD |
2 | U-DICRH | 高分辨率 | 小 | MPLFLN, MPLAPON |
3 | U-DICRHC | 高對比度 | 大 | LMPLFLN and LCPLFLN-LCD |
用于MIX組合式觀察的MIX滑塊
類型 | 適用的物鏡 | ||
4 | U-MIXR | MIX滑塊 | MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD, MPLN-BD |
控制盒與手動控制器
控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC，手動控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制
BX3M-CB（CBFM）配置
1 | BX3M-CB | 用于BX53M系統(tǒng)的控制盒 |
2 | BX3M-CBFM | 用于BXFM系統(tǒng)的控制盒 |
3 | BX3M-HS | MIX觀察控制，編碼硬件的指示燈，軟件（Stream）的可編程功能按鈕 |
4 | BX3M-HSRE | 電動物鏡轉(zhuǎn)換器旋轉(zhuǎn) |
5 | U-HSEXP | 相機的快門操作 |
U-CBS配置
6 | U-CBS | BXFM配置中用于編碼功能的控制盒 |
5 | U-HSEXP | 相機的快門操作 |
電纜
– | U-MIXRCBL (ECBL) | U-MIXR電纜，電纜長度：0.5米（2.9米） |
– | BX3M-RMCBL (ECBL) | 電動物鏡轉(zhuǎn)換器電纜，電纜長度：0.2米（2.9米） |
載物臺
用于放置樣品的載物臺和載物臺板。根據(jù)樣品形狀和尺寸進行選擇。
150mm×100mm載物臺配置
1 | U-SIC64 | 150 mm×100 mm平板載物臺 |
2 | U-SHG (T) | 改善操作手感的硅膠手柄套薄型（厚型） |
3 | U-SP64 | 用于U-SIC64的載物臺板 |
4 | U-WHP64 | 用于U-SIC64的晶圓板 |
5 | BH2-WHR43 | 用于4-3英寸的晶圓托架 |
6 | BH2-WHR54 | 用于5-4英寸的晶圓托架 |
7 | BH2-WHR65 | 用于6-5英寸的晶圓托架 |
8 | U-SPG64 | 用于U-SIC64的玻璃板 |
100 mm×100 mm載物臺配置
9, 10 | U-SIC4R (L) 2 | 100mm×105mm右手（左手）操作載物臺 |
11 | U-MSSP4 | 用于U-SIC4R（L）2的載物臺板 |
12 | U-WHP2 | 用于U-SIC4R（L）2的晶圓板 |
6 | BH2-WHR43 | 用于4-3英寸的晶圓托架 |
13 | U-MSSPG | 用于U-SIC64的玻璃板 |
52mm×76mm載物臺配置
14, 15 | U-SVR (L) M | 52mm×76mm右手（左手）操作載物臺 |
2 | U-SHG (T) | 改善操作手感的硅膠手柄套薄型（厚型） |
16 | U-MSSP | 用于U-SVR（/L）M的載物臺板 |
17, 18 | U-HR (L) D-4 | 用于右側(cè)（左側(cè)）開口的薄玻片夾 |
19, 20 | U-HR (L) DT-4 | 用于右側(cè)（左側(cè)）開口的厚玻片夾，在難以抬起標本時，用于將玻片按在載物臺頂部表面 |
其它
21 | U-SRG | 旋轉(zhuǎn)載物臺 |
22 | U-SRP | 偏光旋轉(zhuǎn)載物臺，可以從任意位置以45度鎖定 |
23 | U-FMP | 用于U-SRP/U-SRG的移動標本夾，移動范圍：30mmx30mm |
24 | U-SP | 固定式平板 |
相機適配器
用于照相觀察的適配器。可從要求的視野和放大倍率中選擇。使用以下公式可以計算實際的觀察范圍：實際視野（對角線mm）= 視野（視場數(shù)）÷物鏡放大倍率。
放大倍率 | 對中調(diào)節(jié) （mm） | CCD圖像范圍（視場數(shù)）（mm） | ||||
2/3 in. | 1/1.8 in. | 1/2 in. | ||||
1 | 帶U-CMAD3-2 的U-TV1X-2 | 1 | 10.7 | 8.8 | 8 | |
2 | U-TV1XC | 1 | ø2 | 10.7 | 8.8 | 8 |
3 | U-TV0.63XC | 0.63 | 17 | 14 | 12.7 | |
4 | U-TV0.5XC-3 | 0.5 | 21.4 | 17.6 | 16 | |
5 | U-TV0.35XC-2 | 0.35 | 22 | |||
6 | U-TV0.25XC | 0.25 | ||||
目鏡
用于直接觀察顯微鏡的目鏡。根據(jù)所需的視野進行選擇。
■:可用于 | FN(mm) | 屈光度調(diào)節(jié)裝置 | 內(nèi)置十字絲 | |
1 | WHN10X | 22 | ||
2 | WHN10X-H | 22 | ■ | |
3 | CROSS WHN10X | 22 | ■ | ■ |
4 | SWH10X-H | 26.5 | ■ | |
5 | CROSS SWH10X | 26.5 | ■ | ■ |
濾色片
光學濾色片可以將照射到樣品的光線進行各種類型的轉(zhuǎn)換。根據(jù)觀察需要選擇合適的濾色片。
BF, DF, FL
1, 2, 3 | U-25ND50, 25, 6 | 中性密度濾色片，透過率50％，25％，6％ |
4 | U-25LBD | 日光色濾色片 |
5 | U-25LBA | 鹵素燈色濾色片 |
6 | U-25IF550 | 綠色濾色片 |
7 | U-25L42 | 紫外阻擋濾色片 |
8 | U-25Y48 | 黃色濾色片 |
9 | U-25FR | 磨砂濾色片（BX3M-URAS-S要求） |
POL, DIC
10 | U-AN-2 | 偏光方向固定 |
11 | U-AN360-3 | 偏光方向可旋轉(zhuǎn) |
12 | U-AN360P-2 | 高質(zhì)量偏光方向可旋轉(zhuǎn) |
13 | U-PO3 | 偏光方向固定 |
14 | U-POTP3 | 偏光方向固定，與U-DICRH配套使用 |
15 | 45-IF546 | 用于偏光的綠色O45 mm濾色片 |
IR
16 | U-AN360IR | - |
17 | U-POIR | IR偏光方向固定 |
18 | U-BP1100IR | 帶通濾色片：1100nm |
19 | U-BP1200IR | 帶通濾色片：1200nm |
透射光
20 | 43IF550-W45 | 綠色O45mm濾色片 |
21 | U-POT | 起偏鏡 |
使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時不需要AN和PO
其它
22 | U-25 | 空濾色片滑塊，與用戶定制的O25mm濾色片配套使用 |
23 | U-FC | 透射濾色片盒；組合使用O45mm濾色片 |
聚光鏡
聚光鏡能會聚和聚焦透射光線。用于透射光觀察。
1 | U-AC2 | 阿貝聚光鏡（適用于不小于5倍的物鏡） |
2 | U-SC3 | 可轉(zhuǎn)出聚光鏡（適用于不小于1.25倍的物鏡） |
3 | U-LWCD | 用于玻璃板的長工作距離聚光鏡（U-MSSPG，U-SPG64） |
4 | U-POC-2 | 用于偏光的可轉(zhuǎn)出聚光鏡 |
分光鏡組件
用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據(jù)所需的觀察進行選擇。
1 | U-FBF | 用于BF，ND濾色片可拆卸 |
2 | U-FDF | 用于DF |
3 | U-FDICR | 用于POL，固定式尼科爾正交 |
4 | U-FBFL | 用于BF，內(nèi)置ND濾色片（需要同時使用BF*和FL） |
5 | U-FWUS | 用于紫外線-FL：BP330-385 BA420 DM400 |
6 | U-FWBS | 用于藍色-FL：BP460-490 BA520IF DM500 |
7 | U-FWGS | 用于綠色-FL：BP510-550 BA590 DM570 |
8 | U-FF | 空鏡組 |
* 僅用于同軸反射照明
中間鏡筒
用于多種目的的各種類型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。
1 | U-CA | 變倍器（1倍，1.25倍，1.6倍，2倍） |
2 | U-ECA | 變倍器（1倍，2倍） |
3 | U-EPA2 | 眼點調(diào)節(jié)器：+30mm |
4 | U-DP | 用于U-DP1XC的雙端口 |
5 | U-DP1XC | 用于U-DP的C-接口TV相機適配器 |
6 | U-TRU | 三目中間鏡組 |
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