小型等離子表面處理機(jī)TS-PL02

產(chǎn)品介紹

小型等離子表面處理機(jī)清洗原理

等離子清洗分為化學(xué)清洗、物理清洗及物理化學(xué)清洗。針對不同的清洗對象可選擇O2、H 2和Ar等 工藝氣體進(jìn)行幾十秒的表面處理。

1.1 化學(xué)反應(yīng)為主的清洗

利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機(jī)物等做化學(xué)反應(yīng)，又稱PE。采用氧氣進(jìn)行清洗，使非揮發(fā)性的有機(jī)物變成易揮發(fā)的形態(tài)，產(chǎn)生 二氧化碳、一氧化碳和水。化學(xué)清洗的優(yōu)點(diǎn)是清潔 速度高、選擇性好和對清洗有機(jī)污染物比較有效， 主要缺點(diǎn)是生成的氧化物可能在材料表面再次形 成。在引線鍵合工藝中，氧化物是最不希望有的， 這些缺點(diǎn)可以通過適當(dāng)選擇工藝參數(shù)進(jìn)行避免。

1.2 物理反應(yīng)為主的清洗

利用等離子體里的離子做純物理的撞擊，把材料表面附著的原子打掉，也稱為濺射腐蝕（SPE）。 采用氬氣進(jìn)行清洗，氬離子以足夠的能量轟擊器件表面，撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學(xué)鍵分離成小分子而汽化，通過真空泵排出。同時(shí)經(jīng)過氬等離子清洗后，能夠改變材料表面的微觀形態(tài)，使材料在分子級范圍內(nèi)變得更加“粗 糙”， 可大幅改善表面活性，提高表面的粘結(jié)性能。氬等離子的優(yōu)點(diǎn)是清理材料表面不會留下任何氧化物。缺點(diǎn)是可能發(fā)生過量腐蝕或污染物顆粒重 新積聚在其他不希望的區(qū)域，但是這些缺點(diǎn)可通過 細(xì)調(diào)工藝參數(shù)得到控制。

1.3 物理化學(xué)反應(yīng)同時(shí)存在的清洗

反應(yīng)中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用的 清洗。 如采用Ar和O2的混合氣體進(jìn)行在線式等離子清洗過程時(shí)，反應(yīng)速率比單獨(dú)使用Ar或O2都要快。氬離子被加速后，產(chǎn)生的動能又能提高氧離子的反應(yīng)能力，因此用物理化學(xué)方法可清除污染較為嚴(yán)重的材料表面。

小型等離子表面處理機(jī)采用電感耦合式工作原理，在微波管、零件絕緣方面作用很突出，適用于高潔凈度的敏感產(chǎn)品處理；廣泛地被大中院校、科研機(jī)構(gòu)、企業(yè)研發(fā)機(jī)構(gòu)，實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)小批量試產(chǎn)階段采用。其產(chǎn)品主要應(yīng)用在材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)藥材料學(xué)、微流體研究、微電子機(jī)械系統(tǒng)研究、光學(xué)、顯微術(shù)、牙科醫(yī)療等領(lǐng)域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學(xué)改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。該產(chǎn)品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導(dǎo)體、陶瓷、復(fù)合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉(zhuǎn)變、表面性質(zhì)改變、提高結(jié)合力等處理效果。