腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體，如反應(yīng)中間產(chǎn)物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。

20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH₃、B₂H₆、PH₃等，強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF₃等，強(qiáng)氧化性氣體如CIF₃、NF₃等。

20年來，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點(diǎn)：

• 連接件電拋光工藝處理
• 取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
• 高靈敏度三級過濾四極桿
• 檢測限可達(dá) 5 ppb
• QGA專業(yè)版定量分析軟件