PICOSUN P-300B Advanced ALD 高級原子沉積機(jī)
技術(shù)參數(shù)
?;叽绾皖愋?300mm晶圓10片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)
。200mm晶圓25+2片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)
工藝溫度 :50 - 500 °C
基片傳送選件:。 氣動升降(手動加載)
。半自動裝載,用線性裝載器實(shí)現(xiàn)
。52片晶圓盒式全自動裝載,用真空批量Load lock實(shí)現(xiàn)
前驅(qū)體: 。液態(tài),固態(tài),氣態(tài),臭氧源
。前驅(qū)源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務(wù)
。4根獨(dú)立源管線,最多加載6個(gè)前驅(qū)體源
重量 :400 + 300 kg
尺寸: (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
選件 :PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng),N2發(fā)生器,尾氣處理器,定制設(shè)計(jì),與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn) :標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al2O3 工藝