美國SCS 旋轉涂覆儀 G3系列:
SCS 公司的 G3 系列高精度旋轉涂敷機是一款用于實驗室、研發(fā)的桌面式儀器,應用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷,象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機化合物、攙雜劑、硅質薄膜等。G3 旋轉涂敷機系統(tǒng)在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標準,具有很高的旋轉精度和重復精度, 擁有精度*的加速/減速控制。
G3 系列共有 G3-8, G3P-8, G3P-12 和 G3P-15 四個型號。
G3-8: G3 系列不可編程旋轉涂敷機,8"旋涂盤,單一涂敷程序。
G3P-8: G3 系列可編程旋轉涂敷機,8"旋涂盤,可儲存 30 個涂敷程序,每個程序可以有 20 步。
G3P-12: G3 系列可編程旋轉涂敷機,12"旋涂盤,可儲存 30 個涂敷程序,每個程序可以有 20 步。
G3P-15: G3 系列可編程旋轉涂敷機,15"旋涂盤,可儲存 30 個涂敷程序,每個程序可以有 20 步。
吸盤規(guī)格資料:
功能及技術規(guī)格:
。 基于微處理器控制,利用前面板 LCD 顯示屏及鍵盤可快速,簡單的編程。
。 閉環(huán)伺服電機控制提保證精確的速度調節(jié)。
。 使用可選的PC界面軟件通過通訊端口實現(xiàn)外部控制,包括編程、曲線儲存、PID、診斷、真空開/關、慢速中心定位及可編程初始位置。
。 可儲存 30 個曲線,每個曲線可設定 20 步(如果使用外部計算機控制,則程序存儲數(shù)量不限)。
。 程序可調整的旋轉增量為 1.0 轉/分,定時增量為 0.1 秒的,停留時間的增量為 1.0 秒,在每次循環(huán)中可以實現(xiàn)*的重復精度。
。 對于可編程的機器,編碼器允許真空吸盤(卡盤)停止在初始位置。
。 在可編程的機器系統(tǒng)中包括耐化學腐蝕的特氟綸涂層的底碗和完整的排泄系統(tǒng)。
。 客戶評估的厚度均勻度范圍在±3%內。
。 可編程的機器均標準配備聯(lián)鎖鉸鏈蓋子和安全玻璃觀察窗。
。 緊湊的結構使其在生意通風櫥時非常方便
。 吸盤(卡盤)旋轉速度:0-9,999 轉/分鐘
。 加速度/減速度:0.1 – 25.5 秒,0.1 秒為增量
。駐留時間:0-999 秒,0.1 秒為增量
。 點膠時間:1-10 秒,0.1 秒為增量
。 系統(tǒng)尺寸:11.9” H x 12” W x 16.5” D(英寸)
。 系統(tǒng)電源:115/230 VAC, 50/60 Hz, 1Ø
真空卡盤:
SCS 涂敷系統(tǒng)的附件夾盤可以有多種材料供客戶選擇, 包括不銹鋼(標準)、硬質陽極氧化鋁、聚甲醛樹酯和特氟綸。吸盤尺寸由客戶制定以適應基片尺寸。吸盤的零配件按嚴格
公差制造,從而提供異常平整、剛性的平面。交叉渦道形吸盤可以使真空壓分布在整個表面。SCS 推薦吸盤的直徑比基片直徑小 1/4 到 1 英寸。當使用脆性基片時,吸盤應支撐整個基片。