特點(diǎn)
? 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升級為 FS70 型) 而開發(fā)的。 它是作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。
? FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長 (1064nm,532nm, 355nm), FS70L4 支 持 2 種 波 長(532nm, 266nm), 可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。 這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。
? FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有 : 亮視場, 微分干涉對比 (DIC) 和偏振觀測。 FS70L 和 FS70L4不支持 DIC。
? 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
? 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升級為 FS70 型) 而開發(fā)的。 它是作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。
? FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長 (1064nm,532nm, 355nm), FS70L4 支 持 2 種 波 長(532nm, 266nm), 可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。 這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。
? FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有 : 亮視場, 微分干涉對比 (DIC) 和偏振觀測。 FS70L 和 FS70L4不支持 DIC。
? 使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
? 極易操作的設(shè)計(jì) : FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng) (視場中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
對焦方法
方法 | 有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪 (左和右) |
測量范圍 | 50mm |
微調(diào) 0.1mm/rev. 同心 , | |
粗調(diào) 3.8mm/rev. | |
三目鏡筒圖像 | 正像 |
瞳距 | 西登托夫型 |
調(diào)節(jié)范圍 | 51 - 76mm |
視場數(shù) | 24 |
俯角 | 0o - 20o (僅適于 -TH, -THS 型號) |
照明系統(tǒng) | 亮視場反射照明 (科勒照明、 帶孔徑光闌) |
光源 | 12V100W 光纖、 無極亮度調(diào)節(jié),光導(dǎo)長度 1.5m、 功耗 150W |
物鏡 (選件) | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo |