裝片冷卻一體機

石墨舟裝片冷卻一體機
產(chǎn)品說明

本設備是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套，裝去硅片，配制過濾器，空氣通過過濾器后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)達到工藝要求的潔凈度。

主要特點
① 能夠確保與PECVD石墨舟承載車準確定位；
② 采用SUS304不銹鋼制造，整機結構堅固可靠；
③ 采用GK系列空氣過濾器；
④ 凈化風機噪音小于50dB；
⑤ 保證工作區(qū)域內所達到工藝的潔凈度。

⑥ PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉180度;

冷卻功能

1. 能準確的使石墨舟承載裝片定位。

2. 經(jīng)過濾的潔凈空氣有送風機分散吹向石墨舟，保證石墨舟快速冷卻。

技術要求：

1. 整個冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個設備堅固可靠。

2. 進入吹風的空氣需經(jīng)中效過濾網(wǎng)過濾。

3. 吹風機兩臺，左右各一臺，風量1000m3/h。

4. 頂部裝有吸風罩和手動調節(jié)閥，可調節(jié)風量和風速。

5. 為達到節(jié)電效果，需安裝自控裝置，當小車進入冷卻房后自動啟動，冷卻到規(guī)定時間或小車離開冷卻房后都能自動停止。

6. 為防止被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_。

7. 凈化風機噪音小于50dB；保證每個部位都能吹到。

8. 光電感應自動吹風，微電腦控制。