美國(guó)安斯超科學(xué)公司(Angstrom Sciences,Inc)成立于1988年,,是一家
專業(yè)從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專業(yè)公司,
的磁場(chǎng)設(shè)計(jì)和*的水冷技術(shù)使其產(chǎn)品倍受歡迎。安斯超公司對(duì)磁控濺射
靶陰極的磁體外形和冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了科學(xué)合理地優(yōu)化設(shè)計(jì),并且選取
更強(qiáng)的磁體(比稀土磁體強(qiáng)30%),從而使安斯超的靶陰極比常規(guī)的靶陰
有更為的性能。
核心技術(shù)及特點(diǎn):
特殊設(shè)計(jì)的磁體結(jié)構(gòu),使得磁場(chǎng)線跨度范圍更寬,從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性湍流冷卻技術(shù),使得水流能夠更平緩的進(jìn)入陰極,從而提高冷卻效果
特殊設(shè)計(jì)的耙材固定結(jié)構(gòu),使得耙材更換起來(lái)更簡(jiǎn)單,降低停工期*的磁體材料 NdFeB,他的強(qiáng)度比其他的稀土磁體要強(qiáng)30%
*的靶材利用率,可以達(dá)到50%,從而降低靶材成本的產(chǎn)品均勻性,可以達(dá)到±3%
可以在更低的真空以及更高的功率下運(yùn)行:壓力可以達(dá)到10-4TOR直接水冷結(jié)構(gòu)可以提高其功率密度達(dá)到250Watt s/in2