CDW-3000S-DT激光平面干涉儀是一款新型的非接觸高精度無(wú)損光學(xué)表面測(cè)量設(shè)備。它基于菲索干涉原理，通過(guò)分析干涉條紋來(lái)確定光學(xué)表面面形。該設(shè)備集成了*的光學(xué)、機(jī)械和電子技術(shù)，具有不損傷被測(cè)物品、測(cè)量精度高、測(cè)量時(shí)間短的特點(diǎn)；實(shí)現(xiàn)了對(duì)準(zhǔn)光路和成像光路的電子切換，方便了用戶(hù)的使用。
CDW-3000S-DT可以用于檢測(cè)高精度光學(xué)元器件、光盤(pán)、硬盤(pán)等，適用于車(chē)間加工過(guò)程的在線檢測(cè)，可整盤(pán)檢測(cè)。在科學(xué)研究、精密器件加工、光學(xué)零件測(cè)試等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
CDW-3000S-DT主要技術(shù)指標(biāo)
技術(shù)指標(biāo) | 參數(shù)值 |
測(cè)量原理 | 菲索干涉原理 |
顯示方式 | CCD顯示 |
標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度 | P-V：λ/10 |
光源 | He-Ne激光器 |
波長(zhǎng) | 632.8nm |
測(cè)量口徑 | Ф300mm |
電源 | AC210～230V 50～60Hz |
工作溫度 | 20～25℃ |
外形尺寸 | 500×600×1200mm |
質(zhì)量 | 約150kg |
配置清單
序號(hào) | 型號(hào)、規(guī)格、名稱(chēng) | 數(shù)量 |
1 | CDW-3000S-DT激光平面干涉儀主機(jī) | 1臺(tái) |
2 | 氦氖激光電源 | 1套 |
3 | 高精度機(jī)械調(diào)節(jié)架 | 1套 |
4 | 標(biāo)準(zhǔn)Ф300mm光學(xué)平面樣板 | 1套 |
5 | DELL計(jì)算機(jī) | 1臺(tái) |
6 | 14″液晶顯示屏 | 1臺(tái) |
一 ，主要數(shù)據(jù)
標(biāo)準(zhǔn)平面（A面）,不鍍膜。工作直徑：D1=φ285mm不平度小于0.05um
2.第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面），不鍍膜。工作直徑：D2=φ285mm 不平度小于0.08um
3.準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8，工作直徑：D0=φ285mm 焦距：f=400mm
4.測(cè)微目鏡：焦距f=16.7mm，放大倍數(shù)β=15X，視場(chǎng)角2W=40°，成像物鏡：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37
5.工作波長(zhǎng)：632.8nm
6.干涉室尺寸：深400寬500*400mm。
7.光源規(guī)格：激光ZN18（He-Ne）。
8.儀器的外形尺寸：長(zhǎng)*寬*高 500*600*1200mm
9.儀器重量：150公斤
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