益處
- 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
- 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
- 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)燈絲，防止過早燒毀
- 兩根使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
- 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
- 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
- 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保高再現(xiàn)性
- RoHS 合規(guī)
典型應(yīng)用
- 對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
- 工業(yè)鍍膜
- 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
新聞
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規(guī)格
類型 | BPG402-S | |
測(cè)量范圍（空氣、O2、CO、N2） | 5×10-10 … 1000 | |
精度 |
| |
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
可重復(fù)性 |
| |
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除氣 (1) |
| |
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
壓力，更大 | bar (absolute) | 2 |
溫度 |
| |
運(yùn)行（環(huán)境） | °C | 0 … +50 |
貯存 | °C | -20 … +70 |
在法蘭處烘烤，無電子設(shè)備 BPG402-S | °C | 80 |
無電子設(shè)備，在法蘭處烘烤 BPG402-SL | °C | 150 |
電源電壓 | +20 … +28 | |
輸出信號(hào)模擬 |
| |
輸出信號(hào) | V | 0 … +10 |
測(cè)量范圍 | V | +0.774 … +10 |
電壓與壓強(qiáng) | volts per decade | 0.75 |
錯(cuò)誤信號(hào) | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
更小負(fù)載電阻 | kΩ | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器 |
| |
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 1 | |
范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
滯后 | % of reading | 10 |
觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
數(shù)字功能 | degas | |
接口（數(shù)字）(2) | RS232C | |
發(fā)射控制 | automatic / manual via interface | |
單絲 | two Yt2O2 coated Ir | |
單絲狀態(tài)/繼電器 | LED / relay | |
電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
電纜長(zhǎng)度，更大 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內(nèi)部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保護(hù)等級(jí) | IP30 | |
Profibus DP |
| |
波特率 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
地址 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
Profibus DP 連接器 | D-Sub, 9-pin, female | |
CDG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
DeviceNet™ |
| |
協(xié)議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
數(shù)據(jù)率開關(guān) | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
電纜長(zhǎng)度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
電纜長(zhǎng)度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
電纜長(zhǎng)度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
數(shù)字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
技術(shù)規(guī)格 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
設(shè)備類型 | ''CG'' for combination gauge | |
I / O 從屬傳訊 | polling only | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 | 2 | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 范圍 | mbar | 1×10-9 … 100 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 繼電器觸點(diǎn) | n.o., potential free | |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 滯后 | % of reading | 10 |
設(shè)定點(diǎn)繼電器： 觸點(diǎn)額定值 | ≤30 | |
DeviceNet™ 電源電壓 | +11 … +25 | |
真空計(jì)電源電壓 | +20 … +28 | |
DeviceNet™ 連接器 | Microstyle, 5-pin | |
BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點(diǎn)）連接器 | D-Sub, 15-pin, male | |
1) 除氣期間降低精度
2) 同時(shí)使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器，不允許使用現(xiàn)場(chǎng)總線
3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m
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