CTI On-board 低溫泵 技術(shù)參數(shù):
CTI On-board 低溫泵技術(shù)參數(shù):
On-Board 低溫泵型號 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
抽速 (L/S) | ||||||||
水汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
空氣 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 |
| 2,200 | 6,000 | 10,000 |
氫 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 |
| 3,200 | 12,000 | 12,000 |
氬 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 |
| 1,800 | 5,000 | 8,400 |
容量(標(biāo)準(zhǔn)升) | ||||||||
氬 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 |
| 1,000 | 2,500 | 6,000 |
氫 (5x10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
常規(guī)再生時間(冷態(tài)至冷態(tài)) | ||||||||
級和第二級 | 75 分鐘 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | 2.5 小時 | <3.3 小時 | 3 小時 | <3.8 小時 |
第二級 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1 小時 | <1.5 小時 | <1.5 小時 |
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