Inficon MPG400反磁控(冷陰極)皮拉尼真空計 351-010
Inficon 反磁控皮拉尼真空計, MPG400 測量范圍從 5 x 10-9 毫巴至大氣壓 (3.8 x 10-9 乇至大氣壓). 將兩種技術復合在帶有對數(shù)模擬輸出的簡單小型規(guī)管中, 大大地降低安裝, 設置和集成的復雜性.
優(yōu)勢:
復合真空計—反磁控和皮拉尼
寬的測量范圍從 5 x 10-9 毫巴至大氣壓
無可燒毀的燈絲
點燃特性
易清洗
FPM 或金屬密封的饋入件
LED 指示燈用于高電壓 on
對數(shù)模擬輸出訊號
應用:
高真空壓強監(jiān)測
蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的基本壓強
中高真空范圍的一般真空測量和控制
技術規(guī)格
型號 | MPG400 | MPG401 |
測量范圍 | 5 × 10E-9至1000 mabr | |
精度(N2) 10E-8至100 mbar |
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重復性 | ≈±5%讀數(shù) | |
輸出信號(電壓) |
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電源電壓 | +15至+30Vdc | |
電氣連接件 |
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工作溫度 | +5至+55℃ | |
安裝方位 | 任何 | |
防護等級 | IP40 |
訂購資料
MPG400 FPM密封 KF25 351-010