一、產品用途：
無塵無氧烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，本設備適用半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發(fā)機構.
二、性能特點：
1、箱體內膽采用優(yōu)質SUS304#鏡面不銹鋼材質，滿焊接后經(jīng)無塵化處理，表面潔凈，自身不產塵。2、設備內置進口耐高溫高效過濾器，結合設計的熱風循環(huán)風道，安全可靠的加熱控制系統(tǒng)，配合充氮控制系統(tǒng)，確保工作室內達到class100無塵無氧的潔凈防氧化環(huán)境。干燥箱全部采用不銹鋼材料，完善的控制系統(tǒng)，使得工作室的溫度更加均勻。
3、氣體系統(tǒng)：采用進口耐高溫高效無框過濾器H.E.P.A，過濾效率 99.997% @0.3UM，
選配：氧含量分析儀，記錄數(shù)據(jù)。6點溫度記錄儀
4、溫控系統(tǒng)：采用宇電觸摸屏PID自動演算，溫度精準度±0.1℃，120組*100段程序，溫度曲線，超溫抑制，傳感器斷線保護，選配RS485通訊端口。水冷系統(tǒng)。
5、無氧控制：配置氧含量分析儀（選配）雙流量計節(jié)氮系統(tǒng)，雙延時充氮控制，無氧、低氧環(huán)境下節(jié)省氮氣消耗量。
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