概要
HORIBA SEC-E50- 主要用途：
規(guī)格
SEC- (質(zhì)量流量控制器)
E50
適用氣體種類*1
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號
非通電時(shí) 關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)
20/30 SLM
流量控制范圍
(適于SEC系列)2-99% F.S.
流量測量范圍
(適于SEF系列)0-99% F.S.
響應(yīng)速度
1秒以內(nèi)(T98)
流量精度
±1% F.S.
直線性
±0.5% F.S.
反復(fù)性
±0.2% F.S.
工作差壓值值
(適于SEC系列)10 SCCM-5 SLM：50-300kPa(d) 10?30 SLM:100-300kPa(d)
使用壓力
(適于SEF系列)300kPa(G)以下
耐 壓
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa/m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度
5?50℃(精度的確保：15-35℃)
流量設(shè)定信號
0.1-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2-99% F.S.
流量輸出信號
0-5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動電源
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
1/4SWL 類型
技術(shù)規(guī)格
*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
工業(yè)爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實(shí)驗(yàn)裝置上的氣體流量控制
要求需要自動化的流量控制設(shè)備
希望把握所消耗流量總量的設(shè)備等
特征：
以魅力、價(jià)格實(shí)現(xiàn)從微小流量到大流量的控制；
高速響應(yīng)，1秒內(nèi)達(dá)到流量設(shè)定值。搭載了設(shè)計(jì)的控制回路和高速應(yīng)對的流量感應(yīng)器，根據(jù)所接收到的電力信號，流量的初期安定性比較好，通過流量變化的實(shí)施程序使得能一直保持安定的流量進(jìn)行測控。（大流量對應(yīng)型號：SEC-E80在2秒內(nèi)應(yīng)對）
高精度，±1.0％F.S
高信賴性，具備自動調(diào)零功能
可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制；所謂質(zhì)量流量控制器，是計(jì)測質(zhì)量流量，可根據(jù)所接收的電力信號，自動的進(jìn)行任意流量的一種控制器。因此，即使使用環(huán)境（如溫度、壓力）發(fā)生變化變化，也不必進(jìn)行修正，就能準(zhǔn)確的進(jìn)行質(zhì)量流量控制。
采用自動流量功能閥門；流量控制閥門由于是采用自動流量功能功能控制型，當(dāng)本體電源無供給時(shí)，閥門將自動調(diào)整為關(guān)閉狀態(tài)。停電時(shí)也可以將流量控制在最小限度內(nèi)。
工作原理：
1、入口處進(jìn)來的氣體被分流到流量感應(yīng)器和旁路處。
2、通過感應(yīng)器得到按質(zhì)量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成電力信號。
3、該信號通過增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號向外部輸出，另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設(shè)定信號和從感應(yīng)器處得到的流量信號在比較回路中形成差異信號，再輸送至下一個(gè)的閥門驅(qū)動回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號將為“0”，使流量一直控制在設(shè)定流量。
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