本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體晶圓,硅片制造過程中對聚酰亞胺PSPI一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備,烘箱的溫度可達(dá)450℃
性能特點(diǎn):真空度可達(dá)10pa
箱體內(nèi)的氧含量:《20ppm,提供氧含量的檢測接口
日本優(yōu)易控制觸摸屏,升溫斜率控制.
內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作。
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本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體晶圓,硅片制造過程中對聚酰亞胺PSPI一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備,烘箱的溫度可達(dá)450℃
性能特點(diǎn):
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