掃描電鏡

ZEISS的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡全部采用新型鏡筒（GEMINI）設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能；InLens設(shè)計(jì)是目前真正的內(nèi)置鏡筒電子束光路上二次電子探測(cè)器，其具有靈敏度和高的接收效率，而且只接收來(lái)自樣品表面的二次電子，因此具有分辨率和圖像質(zhì)量，二次電子探測(cè)器和背散射電子探測(cè)器均內(nèi)置于鏡筒電子束光路上，試樣的工作距離不受背散射探測(cè)器的影響，可以非常接近極靴，這樣可以同時(shí)獲得二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率，且接收的背散射電子的能量可以控制。創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場(chǎng)小，可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。

SIGMA是一臺(tái)高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級(jí)的物鏡設(shè)計(jì)，提供高真空成像功能，可對(duì)各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界的X射線分析條件，樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無(wú)油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換和無(wú)污染成像分析。

主要參數(shù)：

1.   工作條件

1.1.      電源電壓：220V±10V, 單相 50Hz

1.2.      工作溫度：18°C～25°C

1.3.      接地：獨(dú)立的接地線

1.4.      儀器運(yùn)行的持久性：長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作

1.5.      磁場(chǎng)：≤ 3 mGauss

1.6.      濕度：≤ 60% RH

2.   性能

2.1.      分辨本領(lǐng)

二次電子像分辨率：

1.3nm (20 kV)   1.5nm (15 kV)   2.8nm (1kV)
 2.2.      電子源加速電壓：
調(diào)整范圍：100 V～30 kV   調(diào)整步長(zhǎng)：每檔10 V連續(xù)可調(diào)

2.3.      探針電流：

4 pA～20 nA    穩(wěn)定性: 優(yōu)于 0.2%/h

2.4.      放大倍率：范圍: 12×～1000,000×

放大倍數(shù)調(diào)整：粗、細(xì)調(diào)模式連續(xù)可調(diào)

預(yù)設(shè)定：可從用戶菜單中選擇設(shè)定值

自動(dòng)補(bǔ)償：隨著工作距離或加速電壓的變化，自動(dòng)精確校正放大倍數(shù)。

校準(zhǔn)：對(duì)于圖像輸出裝置的改變，自動(dòng)精確校正放大倍數(shù)。

3.   電子光學(xué)系統(tǒng)

3.1.      電子發(fā)射源：Schottky型場(chǎng)發(fā)射（熱場(chǎng)發(fā)射）電子源

3.2.      透鏡系統(tǒng)：電磁/靜電式透鏡會(huì)聚系統(tǒng)

3.3.      聚焦：工作距離：范圍可由1mm至50mm。

控制：具有靈敏度與放大倍數(shù)相關(guān)的粗調(diào)和細(xì)調(diào)。

自動(dòng)聚焦控制：粗調(diào)、細(xì)調(diào)。

聚焦補(bǔ)償：在整個(gè)加速電壓變化范圍內(nèi)，自動(dòng)補(bǔ)償。

動(dòng)態(tài)聚焦：對(duì)傾斜樣品進(jìn)行聚焦矯正。

旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償：自動(dòng)矯正由于工作距離的變化引起的圖像旋轉(zhuǎn)。

傾斜補(bǔ)償：自動(dòng)矯正由于樣品傾斜引起的放大倍數(shù)變化。

3.4.      消像散器

八極電磁式系統(tǒng)

3.5.      光欄

數(shù)量：不少于 5個(gè)

調(diào)整：電磁選擇和軟件調(diào)整

3.6.      掃描

掃描速率：0.1秒/幀～30分/幀（或更寬）

掃描方式：全幀、選區(qū)、定點(diǎn)、線掃描、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補(bǔ)償

3.7.      電子束位移不小于15µm

4.   樣品室

4.1.      樣品室尺寸： 330mm（直徑）x 270mm（高）

4.2.      樣品尺寸： 200mm（直徑）

4.3.      樣品置換時(shí)間（抽真空時(shí)間）：不大于 5分鐘

4.4.      附件接口：

在樣品室上提供不少于六個(gè)附件接口，可同時(shí)接X射線能譜、背散射電子探測(cè)器等。

4.5.      樣品臺(tái)

類型：5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

裝配方式：抽屜式拉門。

控制：雙操縱桿控制盒

移動(dòng)范圍: X：125mm  Y：125mm   Z：50mm   T：0°～+90°

R：360°連續(xù)可調(diào)

   5.   探測(cè)器

5.1.      探測(cè)器類型

鏡筒內(nèi)（In-lens）二次電子探測(cè)器

樣品室二次電子探測(cè)器

背散射電子探測(cè)器

CCD 攝像機(jī)

5.2.      控制

自動(dòng)對(duì)比度/亮度       手動(dòng)對(duì)比度/亮度

6.   信號(hào)選擇

二次電子信號(hào)、背散射電子信號(hào)等，任何二個(gè)通道信號(hào)都可進(jìn)行混合，以獲取更佳的圖像效果。

7.   圖像顯示

7.1.      存儲(chǔ)分辨率:不小于 3k x 2k像素

7.2.      顯示分辨率:1024 x 768像素

7.3.      降噪處理：像素平均、連續(xù)平均、幀和行疊加

7.4.      具有數(shù)據(jù)區(qū)、狀態(tài)顯示、圖像注釋和測(cè)量功能

7.5.      可在Windows支持的外部設(shè)備上存儲(chǔ)及打印圖像

8.   顯示器：19" 液晶顯示器

9.   計(jì)算機(jī)環(huán)境（配置）

9.1.      處理器：CPU：Intel P4 3.2GHz。內(nèi)存：512MB

9.2.      操作系統(tǒng)：Microsoft Windows XP

9.3.      外界接口：串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、網(wǎng)絡(luò)。

9.4.      磁盤驅(qū)動(dòng)器：  硬盤：最小 120 GB；CD刻錄機(jī)。

9.5.      電鏡控制操作軟件。

10. 真空系統(tǒng)：

全自動(dòng)控制

樣品室極限真空度：優(yōu)于2.0×10^-4Pa