OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE認(rèn)證的九通道高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)，齊爐管直徑為4英寸，它是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成，其溫度可達(dá)1200℃，極限真空可達(dá)to 10^-5 torr，混氣系統(tǒng)可以對(duì)1-9種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部，用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。
技術(shù)參數(shù)
| 管式爐 | 殼體 | - 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷，使得殼體表面的溫度小于60度
- 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失
- 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
- 三個(gè)溫區(qū)，可以獨(dú)立控溫
- 真空機(jī)組和氣體流量供氣系統(tǒng)位于移動(dòng)加上，方便移動(dòng).
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| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，使其延長(zhǎng)加熱元件的壽命） |
| 工作溫度 | 1200°C
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| 連續(xù)工作溫度 |
1100°C |
| 升溫速率 |
<=20°C/min |
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | - 總溫區(qū)長(zhǎng)度: (880mm, 35" in total)
- 溫區(qū) 1: 220 mm + 溫區(qū)2: 440 mm + 溫區(qū) 3: 220 mm
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| 恒溫區(qū) |
20" (500 mm) length (三個(gè)溫區(qū)在同一溫度within +/- 1°C) |
| 爐管尺寸和材質(zhì) | - 材質(zhì)：高純石英管
- 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
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| 溫控系統(tǒng) | - 三個(gè)數(shù)字精密溫度控制器，可設(shè)置50段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以進(jìn)行獨(dú)立控溫
- PID調(diào)節(jié)與自動(dòng)調(diào)整功能,確保溫度穩(wěn)定在+/ - 1 oC
- 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
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| 熱電偶 |
3根K型熱電偶 |
| 輸入電源 |
AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：7KW |
| 真空配件 | - 標(biāo)準(zhǔn)的真空配件包括
- 兩個(gè)不銹鋼真空密封法蘭與kf 25抽氣接口
- 兩個(gè)精密針閥和一個(gè)1/4“軟管接頭
- 6個(gè)高溫硅膠O型密封圈，可承受溫度300°C
- 為了防止熱量以熱輻射的形式散失，高溫?fù)p壞密封圈，爐子在加熱前必須放入氧化鋁管堵
- 一根KF-40 抽真空波紋管
- 三個(gè)KF-40 快速卸裝卡箍
- 2個(gè)KF-25 快速卸裝卡箍
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| 高真空機(jī)組 | 結(jié)構(gòu) | - 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
- 承載量: 600 Lbs on top
- 分子泵顯示屏: LCD數(shù)字顯示 內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany
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| 真空傳感器 | - 真空傳感器有一個(gè)kf 25接口
- 數(shù)字式真空顯示計(jì)測(cè)量范圍(measuring range 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 控制面板 | - 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）
- 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
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| 抽氣速率 | - N2 33 L/s
- He 39 L/s (2340L/minute)
- H2 32 L/s
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| 工作范圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar
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| 極限 |
10^-5 torr (with tube furnace) |
| 輸入電源 |
110V AC or 220V AC可切換的, 50/60Hz |
| 消耗功率 |
持續(xù)時(shí)間/功率: 100/110Watt |
| MFC 質(zhì)量流量控制器 | - 9通道精密質(zhì)量流量控制器，安裝在移動(dòng)架上，并帶有數(shù)字顯示
- 3 MFC 范圍10 - 1000scc
- 3 MFC 范圍2 0 - 200scc
- 3 MFC范圍3 0 - 10 scc
- 三個(gè)壓力表分別安裝在底部移動(dòng)架的質(zhì)量流量控制系統(tǒng)上，用來(lái)檢測(cè)混合氣體的壓力
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| 運(yùn)輸信息 | - 爐子尺寸: 550 x 380 x 520mm
- 質(zhì)量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm
- 高真空機(jī)組尺寸: 600 x 600 x 700mm
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| 重量 | - 凈重: 100Kg
- 運(yùn)輸重量: 350 lb (two pallets)
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| 質(zhì)量認(rèn)證 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外如爐管，密封圈，加熱元件等易耗件 |
| 質(zhì)保期 | CE Certificateed |
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