為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）， 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命。
技術(shù)參數(shù)
| 實(shí)驗(yàn)機(jī)理 | - 輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3
- 電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍
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| 產(chǎn)品特點(diǎn) | - 雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
- 科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
- 下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成
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| 開啟式管式爐 | - 工作溫度：1200℃
- 爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
- 溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
- 加熱區(qū)長度：440mm
- 恒溫區(qū)長度：150mm
- 功率：AC 220V 4KW
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| 等離子射頻電源 | - 輸出功率：50-500W可調(diào)±1%
- RF頻率： 13.56MHz的±0.005%穩(wěn)定可調(diào)
- 噪聲：≤55DB
- 冷卻：風(fēng)冷
- 輸入功率：1KW AC 220V
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| 真空泵和閥門 | - 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接
- 真空度可達(dá)10-3torr
- 數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
- 可選：本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
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| 質(zhì)量流量計(jì) | - 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量
- 氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
- 一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
- 不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入
- 進(jìn)氣口：采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
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| 外形尺寸 | - 爐體：550*380*520mm
- 供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
- 凈重：120KG
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| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
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