DMF 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器可對(duì)不同氣體的流量進(jìn)行編程,記錄,分析和控制??刂破鞑捎昧酥惫軅鞲衅骱拖蘖髟@保證了層流氣體流量的精度與重復(fù)性。DMF 系列不受溫度和壓力變化的影響。
控制器可以針對(duì)不同的控制功能進(jìn)行編程,包括設(shè)定流量值,累計(jì),終止累計(jì),從預(yù)定值累計(jì),終止和預(yù)定總數(shù),自動(dòng)調(diào)零等等。自動(dòng)調(diào)零特性采用了自動(dòng)調(diào)零調(diào)整電路,這實(shí)際上消除了零漂和量程漂移。此外,DMF 系列控制器帶有兩個(gè)干式觸點(diǎn)對(duì)泵,閥門(mén)和其它設(shè)備進(jìn)行控制。DMF 系列的特點(diǎn)是有一自整定功能,它可以使對(duì)一定壓力下的特定氣體的調(diào)節(jié)達(dá)到。在開(kāi)機(jī)時(shí)就進(jìn)行自診斷測(cè)試,從而保證控制器工作在工況下??刂破髦袃?chǔ)存了多達(dá)10 種的氣體校準(zhǔn)信息和256 種不同氣體的轉(zhuǎn)換因數(shù)。氣體流量高低速限制警報(bào)器經(jīng)由RS-485 接口進(jìn)行編程。流量模式有相應(yīng)軟件的支持,它允許執(zhí)行多達(dá)十條指令的自定義程序。
技術(shù)指標(biāo)
介質(zhì):與材質(zhì)兼容的潔凈氣體
材質(zhì):316 不銹鋼,416 不銹鋼,Viton® O 形環(huán)。
精度:±1% FS 包括線性度59 - 77°F(15 - 25°C)和10 -
60 Psia(0.7 - 4 Bar);±2% FS 32 - 122°F(0 - 50°C),
5 - 150 Psia(0.3 - 10 Bar)
重復(fù)性:±0.15%(全量程)
響應(yīng)時(shí)間:在20% - 99% FS 以上設(shè)定值的±2% 以內(nèi)為
0.6 - 1.0 秒
輸出:線性0 - 5 直流電壓(2000 Ω 小負(fù)載阻抗);0-10
直流電壓(4000 Ω 小負(fù)載阻抗)
微粒直徑:100 微米
溫度范圍:41 - 122°F(5 - 50°C)
電源:±15直流電壓;功率13.5 瓦
工藝連接:在流速≤50 L/M 時(shí),采用1/4? 壓緊接頭;流速
≥60 L/M 時(shí)則用3/8?
壓力范圍:500 Psig(34.5 Bar)
漏率:1 X 10-9 Sccs Of Helium
計(jì)算機(jī)接口:RS-485
認(rèn)證機(jī)構(gòu):CE
型號(hào)* | 量程型號(hào)* | 量程 |
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DMF-41401 | 0 To 10 Sccm DMF | 41408 0 To 2 L/Min | 0 To 10 Sccm DMF |
DMF-41402 | 0 To 20 Sccm DMF | 41409 0 To 5 L/Min | 0 To 20 Sccm DMF |
DMF-41403 | 0 To 50 Sccm DMF | 41411 0 To 15 L/Min | 0 To 50 Sccm DMF |
DMF-41404 | 0 To 100 Sccm DMF | 41431 0 To 30 L/Min | 0 To 100 Sccm DMF |
DMF-41405 | 0 To 200 Sccm DMF | 41433 0 To 50 L/Min | 0 To 200 Sccm DMF |
DMF-41406 | 0 To 500 Sccm DMF | 41842 0 To 100 L/Min | 0 To 500 Sccm DMF |
DMF-41407 | 0 To 1 L/Min |
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*流量刻度是由當(dāng)量氮?dú)庠?/span>70°F (21°C) @ 760 Mm Hg 的條件下標(biāo)定的。
附件
型號(hào)DMF-110P 110V 電源,25 插腳連接器
型號(hào)DMF-220PE 220V 電源,25 插腳連接器
型號(hào)DMF-CBL1 6 Ft 電纜,具有獨(dú)立的電源支路
型號(hào)DMF-CBL2 6 Ft 電纜,具有與計(jì)算機(jī)端口相連的支路