○ 產(chǎn)品介紹
TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發(fā)等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發(fā)和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現(xiàn)高真空,能夠有效提高鍍膜質量。
○ 適用范圍
實驗室鍍膜使用。
○ 技術參數(shù)
真空腔體 | 高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm |
蒸發(fā)腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm |
等離子濺射腔體 | 高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm |
| 等離子濺射套件 濺射電壓1600V *大電流50mA 靶面尺寸2英寸 工作真空10Pa~20Pa 工作氣氛需通入高純氬氣 |
熱蒸發(fā)鍍膜套件 蒸發(fā)源數(shù)量2個 *大電流100A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 樣品臺直徑φ60mm,可旋轉 |
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| 碳蒸發(fā)套件 蒸發(fā)方式碳棒蒸發(fā) *大電流160A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 |
真空系統(tǒng) | 產(chǎn)品型號TN-GZK103-A 分子泵渦輪分子泵 前極泵雙極旋片泵 抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 極限真空5×10E-4Pa 抽氣接口KF40 排氣接口KF16 真空測量復合真空計 |
進氣系統(tǒng) | 配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭 |
供電要求 | AC 220V 50Hz |
○免責聲明
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