產品信息
產品簡介:
MX8R三目明暗場微分干涉工業(yè)檢測顯微鏡配置了落射與透射照明系統(tǒng)、明暗場半復消金相物鏡、內置偏光觀察裝置,具有圖像清晰、襯度好,造型美觀,操作方便等特點,配備了高性能DIC組件,可以將明場觀察下無法檢測的細微高低差,轉化為高對比度的明暗差并以立體浮雕新式表現出來,廣泛用于LCD導電粒子,精密磁盤表面劃痕檢測等領域
產品性能特點:
- 具有明場,暗場,偏光,DIC 觀察功能
- 采用8英寸大平臺設計,可適用于相應尺寸的晶圓或FPD檢測,電路封裝,電路基板,材料,鑄件金屬陶瓷部件,精密模具的檢測。
技術參數
顯微鏡參數:
序號 | 名稱 | 技術參數 |
---|---|---|
01 | 平場目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,視度可調 |
02 | 金相物鏡 | 明暗場半復消金相物鏡5X,WD=13.5mm,NA=0.15 明暗場半復消金相物鏡10X,WD=9.0mm,NA=0.30 超長工作距明暗場半復消金相物鏡20X,WD=8.5mm,NA=0.4 無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡50X,WD=1.0mm NA=0.8 |
03 | 總放大倍數 | 50X-500X |
04 | 觀察頭 | 5°-35°傾角可調,正像,無限遠鉸鏈三通觀察頭,瞳距調節(jié)50-76mm,視度可調:±5屈光度,兩檔分光比:100/0或0/100 |
06 | 調焦機構 | 反射機架,前置低手位粗微調同軸調焦機構,粗調每轉行程:33mm,微調精度:0.001mm,帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。 |
07 | 移動平臺 | 8英寸三層機械移動平臺,低手位X/Y方向同軸調節(jié),平臺面積525mmX330mm,移動范圍:210mmX210mm,帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動,玻璃載物臺 |
08 | 偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉,起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
09 | 攝像接口 | 0.5X攝像接口,C型接口 |
10 | 微分干涉 | DIC微分干涉組件 |
11 | 照明系統(tǒng) | 寬電壓100V~240V,12V100W鹵素燈落射光照明系統(tǒng),帶視場光闌與孔徑光闌,中心可調。 |