連接相鄰表面以測量大于90°的角度
測量包含陡角的復(fù)雜曲面非常困難因?yàn)殛幱靶?yīng)會(huì)阻止您在單次采集中獲得完整的測量結(jié)果。有必要傾斜樣品以便從兩個(gè)不同的位置測量樣品并將兩個(gè)形貌結(jié)果組合以獲得完整的測量結(jié)果。
自由度，測量無限制
通過自動(dòng)化程序，只需單擊一下即可測量樣品的不同部分。友好的用戶界面允許您在沒有任何約束的情況下找到測量位置。然后關(guān)注樣品的關(guān)鍵部分并將其添加到自動(dòng)化例程中。最后點(diǎn)擊”獲取”，只需單擊一下即可獲得所有測量部件。這是一種自動(dòng)化測量程序的快速簡便方法。
準(zhǔn)確可靠的表面光潔度測量
我們的共聚焦和干涉測量技術(shù)允許您測量具有任何級(jí)別的粗糙表面，從極粗糙(典金剛石或鏡面)。根據(jù)NPL、NIST和PTB 使用共聚焦技術(shù)和高數(shù)值 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，將我們的系統(tǒng)轉(zhuǎn)換為重復(fù)且 可追溯的系統(tǒng)。Ai多焦面疊加技術(shù)使系統(tǒng) 的切削刃半徑。
對(duì)測量大坡度提供了快速、簡便地響應(yīng)。
非接觸評(píng)定
S neox 秉持了起初的設(shè)計(jì)目標(biāo)，作為一臺(tái)具有高性能的3D 光學(xué)輪廓儀，超越了現(xiàn)有的一切光學(xué)輪廓儀。S neox 結(jié)合了三大技術(shù)--共聚焦(于高斜率表面)、干涉(能提供的垂直分辨率)和Ai多焦面疊加(在短短幾秒內(nèi)測量形態(tài)特征)，將三大技術(shù)集成于同一傳感器頭中，且不采用任何移動(dòng)部件。
系統(tǒng)規(guī)格
測量原理:共聚焦,PSI,ePS,CS,AI多焦面疊加和膜厚
觀察模式:明場,DIC彩色,共聚焦,干涉相位對(duì)比
相機(jī):5Mpx:2448x2048像素(可達(dá)180fps)
總放大倍數(shù):60X-21600X(27英寸顯示器)
顯示分辨率:0.001nm
視場:0.113到16.8mm(單視場)
臺(tái)階重復(fù)性:60.1%
臺(tái)階精度:60.5%
一般垂直掃描范圍:線性平臺(tái):40mm;5nm分辨率
精細(xì)垂直掃描范圍:PZT:200pm;0.5nm分辨率
Z測量范圍:PSI20pm;CS110mm;共聚焦&Ai多焦面疊加34mm
XY平臺(tái)范圍:手動(dòng):40x40mm;電動(dòng):114x75 mm,154x154mm,255x215 mm,302302mm
LED光源:紅(630nm);綠(530nm);藍(lán)(460nm)和白(575nm)
拼接張數(shù):10x12(高分辨率);175x175(500 Mpx)
物鏡轉(zhuǎn)盤:6孔電動(dòng)樣品
反射率:0.05%到 99%
樣品重量:高達(dá)25Kg
樣品高度:40mm(標(biāo)準(zhǔn)支架);150mm和350mm(選件)
SENSOFAR是一家科技企業(yè)，在形貌計(jì)量領(lǐng)域堅(jiān)持采用的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
Sensofar Metrology提供基于共聚焦、多焦面疊加和干涉技術(shù)的高精度光學(xué)輪廓儀，提供用于研發(fā)和質(zhì)量檢測實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)到用于在線生產(chǎn)過程的完整非接觸式計(jì)量解決方案。Sensofar集團(tuán)總部位于巴塞羅那，也是歐洲的技術(shù)和創(chuàng)新中心。集團(tuán)通過基于戰(zhàn)略性分布的合作伙伴構(gòu)成的網(wǎng)絡(luò)在超過30個(gè)國家設(shè)有代表處并在亞洲、德國和美國擁有辦事處。
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