特點:
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平移滑臺采用粗調(diào)+微調(diào)結(jié)構(gòu),靈敏度優(yōu)于0.5μm
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旋轉(zhuǎn)滑臺靈敏度優(yōu)于23.4″
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穩(wěn)定性高,具有較高性價比
型號 | UFP1A | UFP1B | UFP1C-L | UFP1C-R | UFP2T-L | UFP2T-R |
臺面尺寸(mm) | 60×60 | 45×45 | ||||
臺面厚度(mm) | 20 | 25 | 30 | - | ||
移動量 | 粗調(diào):±6.5mm;精調(diào):±0.3mm | θx:±3°;θy:±3° | ||||
導向機構(gòu) | 線性滑塊導軌 | 交叉滾柱導軌 | 交叉滾柱軸環(huán) | |||
驅(qū)動 | 分厘卡 | |||||
主體材料及表面處理 | 鋁合金,黑色陽極氧化處理 | |||||
自重(Kg) | 0.28 | 0.32 | 0.4 | 0.64 | ||
靈敏度 | 粗調(diào):≤10µm;精調(diào)≤0.5µm | θx:≤25.2″;θy:≤23.4″ | ||||
靜態(tài)平行度 | ≤60µm | - | ||||
運動平行度 | ≤10µm | - | ||||
運動直線度 | ≤3µm | - | ||||
水平負載(Kg) | 5 | 5 | 5 | 1.5 |