無氧烘箱

一、產(chǎn)品特點及用途

     1.產(chǎn)品特點

       該設(shè)備是一種新型工業(yè)級干燥設(shè)備，采用長軸耐高溫大功率軸流風(fēng)機，不銹鋼渦輪扇葉，結(jié)合設(shè)計風(fēng)道，智能PID溫控器結(jié)合SSR固態(tài)繼電器控制高效不銹鋼發(fā)熱器加熱，形成溫度均勻的高溫?zé)犸L(fēng)，對箱體內(nèi)部進行加熱，確保烘箱內(nèi)部達到理想的溫度環(huán)境。在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化，自動控制充入氮氣排出氧氣，達到超低氧，滿足被烘烤部件無氧環(huán)境。

     2. 產(chǎn)品用途

       產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室、航天航空，IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

二、產(chǎn)品詳細參數(shù);

1.箱體結(jié)構(gòu)

     1.1.內(nèi)部材質(zhì)：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿焊處理，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE。

     1.2.外部材質(zhì)：外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑，耐刮傷，造型美觀。

     1.3.保溫材質(zhì)：采用100K高級保溫棉，六面保溫斷熱，保溫厚度為80mm-120mm，保溫性能好。

     1.4. 箱門結(jié)構(gòu)：箱門于箱體結(jié)合處采用耐高溫硅橡膠條密封迫緊，保溫性能好，抗老化，環(huán)保無污染。

     1.5. 載物層架：可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距，空間利用率高。

2. 溫度控制系統(tǒng)：采用日本三菱PLC+7寸彩色觸摸屏人機交互界面，定值/程序兩種控制模式，帶傳感器斷線報警功能，帶超溫警報保護功能，確保產(chǎn)品運行安全。

3. 控溫方式

     3.1.訊號來源：采日制進口CA感應(yīng)棒±0.5%。

     3.2.輸出被控組件：SSR固態(tài)無節(jié)點輸出，確保加熱功率精準。

4. 箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

     4.1. 送風(fēng)方式：箱內(nèi)采用單向水平運風(fēng)，兩側(cè)風(fēng)道內(nèi)強壓送風(fēng)。

     4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu)：風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板，精準控制導(dǎo)流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。

     4.3. 送風(fēng)裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長軸馬達+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經(jīng)水平糾正處理，確保運風(fēng)平穩(wěn) ，噪聲≤65dB。

     4.4. 送風(fēng)裝置安全保護系統(tǒng)：帶超溫過載過流保護功能，確保馬達及風(fēng)機的使用壽命和安全性能。

     4.5電加熱系統(tǒng)：采用覆套式不銹鋼無塵化電熱管，潔凈不產(chǎn)塵(無縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導(dǎo)熱改性氧化鎂澆筑，無名火，安全不漏電）

5.氧含量控制系統(tǒng)

    5.1氮氣排氧控制系統(tǒng)采用雙路氮氣導(dǎo)入回路，各向箱內(nèi)提供100L/min + 200L/min的氮氣，每路配套進口電磁閥，雙流量自動切換，在箱內(nèi)達到無氧環(huán)境后，自動切換至低流量氮氣，大大節(jié)省氮氣消耗量，也可根據(jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

    5.2 排氧時間≤30 min，帶耐高溫氧含量控制儀，氧化鋯氧含量傳感器，耐高溫自吸泵一套，可實時檢測氧含量并顯示實際數(shù)值，配備氧含量超標報警功能。

6.整機安全保護系統(tǒng)

    6.1. 采用三重超溫保護系統(tǒng)，確保箱體在運行過程中的整體安全性能（詳見技術(shù)參數(shù)）。

    6.2. 箱體內(nèi)部電器保護系統(tǒng)（確保箱體內(nèi)部電器運行平穩(wěn)，安全可靠）：

    6.2.1.超溫防止器（獨立限溫，超溫斷電）；

    6.2.2.相序保護（欠壓欠相保護）；

    6.2.3.馬達過電流保護；

    6.2.4.控制線路保險絲；

    6.2.5.電熱過電流保護；

    6.2.6.無熔絲開關(guān)。