簡介:
Cubic-200分子束外延生長系統(tǒng)由一體成形的不銹鋼腔體組成,無焊接部分,確保了的泄露可能性;6個CF100和8個CF40的超高真空標(biāo)準法蘭口,滿足分子束外延生長各項部件的安裝需求。配有300L/s抽速分子泵及無油前級機械泵,全量程規(guī)(或離子規(guī)),INFICON膜厚測量儀,4軸變溫樣品臺,最多可裝配7個蒸發(fā)源,滿足多種薄膜材料的生長需求。
基本配置:
簡介:
Cubic-200分子束外延生長系統(tǒng)由一體成形的不銹鋼腔體組成,無焊接部分,確保了的泄露可能性;6個CF100和8個CF40的超高真空標(biāo)準法蘭口,滿足分子束外延生長各項部件的安裝需求。配有300L/s抽速分子泵及無油前級機械泵,全量程規(guī)(或離子規(guī)),INFICON膜厚測量儀,4軸變溫樣品臺,最多可裝配7個蒸發(fā)源,滿足多種薄膜材料的生長需求。
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