Model | M2030V | M2030A |
流量范圍(N2) | 5sccm ~ 30000sccm | 5sccm ~ 30000sccm |
相應(yīng)時間 | ≤2 sec | ≤2 sec |
精準(zhǔn)度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重復(fù)精度 | ≤±0.25% FS | ≤±0.25% FS |
輸入/輸出信號 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供電電源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐壓 | ≤90 bar | ≤90 bar |
工作環(huán)境溫度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范圍 | 2 ~ 99% | 2 ~ 99% |