SFP-QV表面塵埃粒子計數(shù)器
Surface Particle QV 表面塵埃粒子計數(shù)器用于測量各種高潔凈度要求的產(chǎn)品，光學鏡片組件、液晶面板及超凈微環(huán)境受控的半導體機臺等表面所附著的塵埃粒子的粒徑大小及單位面積內(nèi)的數(shù)量。
本儀器的核心零部件（光學傳感器）及控制器等采用美國萊特浩斯所生產(chǎn)的組件來保證該產(chǎn)品的測量精度。
本儀器外殼采用SUS316L不銹鋼制作，并經(jīng)表面鈍化處理。彩色觸摸液晶屏顯示操作，檢測光學傳感器采用美國進口整機，吸氣的氣泵為旋片式進口氣泵，并可通過流量傳感器來自動調(diào)節(jié)氣泵的運行流量，使其保持在一個穩(wěn)定的檢測流量范圍內(nèi)，表面測試探頭根據(jù)德國同類產(chǎn)品進行改良優(yōu)良，并配有防靜電軟管與主機連接，其于用排氣及吸氣過濾的囊式過濾器。內(nèi)部濾材為德國進口，從而保證儀器的檢測精度及運行穩(wěn)定性。
表面粒子計數(shù)器由三部分組成：
掃描取樣頭：取樣的同時可以提供一定壓力的吹掃氣流，可以集成操作控制器；
激光塵埃粒子計數(shù)器主機：主要由氣泵、傳感器、主控板、過濾器以及電池組成；
連接主機與掃描采樣頭的管道：包括取樣管道與吹掃管道。
主要技術(shù)參數(shù)
| 檢測精度 | 0.3μm（0.1μm可定制） |
| 檢測通度 | 0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0、7.0、10.0μm八通道 （可定制：0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0μm） |
| 計數(shù)效率 | 0.3μm 50%±20%（粒徑通道） 0.5μm 99%±10%（第二粒徑通道） |
| 采樣流量 | 28.3L/min ±5%，可通過觸摸屏控制自行調(diào)整 |
| 采樣時間 | 0～24h |
| 重復(fù)性 | 相對標準偏差≤10% |
| 粒徑準確度 | 相對誤差≤10% |
| 自凈時間 | ≤10 min |
| 光源 | 激光二極管，經(jīng)過特殊工藝優(yōu)化理論壽命為20年（MTT）或壽命大于40000小時 |
| 顯示方式 | 觸摸顯示屏 |
| 允許采樣濃度 | 35000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.3um)，采樣空氣中不得含酸堿等腐蝕性氣體 |
| 外形尺寸 | 260mm×260mm×260mm |
| 重量 | 7.5kg |
| 功耗 | 35W |
| 電源 | 16.8V內(nèi)置鋰電池/DC16-24V外部寬電壓供電 |
| 粒徑通道 | 0.3um、0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um |
| 采樣周期 | 3s、6s |
| 數(shù)據(jù)存儲 | 5000組 |
| 表面材質(zhì) | SUS316L |
| 連續(xù)工作時間 | 8小時 |
| 使用環(huán)境條件 | 溫度：10-35℃ 濕度：20-75RH 大氣壓：86-106kPa |
| 零計數(shù) | ≤10分鐘內(nèi)連續(xù)3分鐘為0 |
| 執(zhí)行標準 | ISO/FDIS 21501-4:2018、GB/T 6167-2007、JJF 1190-2008 |
| 采樣口徑 | 1/4”Flaretek™ |
| 采樣溫度 | 32-302°F（0-150℃） |
| 操作界面 | 彩色觸摸屏控制便于操作和設(shè)定，能同時顯示6個通道的數(shù)據(jù)，分辨率320×240，屏幕數(shù)據(jù)縮放功能 |
| 輸出方式 | 內(nèi)置熱敏打印機或485協(xié)議 |
| 電源 | AC100～240V 50～60HZ |
| 語言 | 中、英、德、日等多國語言 |
| 保修 | 兩年（儀器自身質(zhì)量） |
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