Kanomax超小型粒子計(jì)數(shù)器3950
粒子計(jì)數(shù)器:
★性的技術(shù)革新,致輕、致小、實(shí)現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中
★2.83L/min,同時(shí)測試0.1 0.3微米微小粒子
★4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
★可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
★設(shè)有RS-485,Ethernet USB通訊接口
粒子測量 | |
測試方法 | 光散射法 |
粒徑通道 | 2粒徑(0.1 、0.3μm) |
額定流量 | 0.1 CFM (2.83υ分)、精度士5%、(符合JIS 89921 和IS021501-4) |
測量時(shí)間 | 錦l>-99分59秒( 1 次測量時(shí)間) |
間隔時(shí)間 | 伺機(jī)99分59秒(測量周期) |
采樣次數(shù) | 1-999次或連續(xù)測試 |
地點(diǎn)設(shè)定 | 99個(gè)地點(diǎn) |
測量方式 | 重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算、ISO,GB* (共6種模式) |
測量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間 | 1—10秒 |
測量數(shù)據(jù)顯示 | 累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖 |
可測濃度 | 10,000,000個(gè)/m3 |
讀數(shù)效率 | 50±20% (相對于最小可測粒徑附近的PSL粒子) 100±10% (相對于最小可測粒徑的1.5倍――2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921和ISO21501-4) |
偽讀數(shù) | <1個(gè)/35min |
粒徑分辨率 | 15%以下(相對0.3μm的PSL粒子) (符合JIS B9921和ISO21501-4) |
氣源 | 內(nèi)置泵 |
顯示器 | 4.3英寸彩色液晶觸摸屏 |
通訊功能 | |
本體 | USB(Host用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ);Device用于與PC鏈接) Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud) |
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | |
媒體 | 內(nèi)存 |
數(shù)量、格式 | 10,000個(gè)、CSV格式 |
顯示語言 | 英文、日語 |
電源 | AC100—240V |
使用環(huán)境(本體) | |
溫度 | 15—35℃ |
濕度 | 0-85%RH(無結(jié)露 |
外形尺寸 | W150 mm×H163 mm×D228mm |
重量 | 3.4Kg |