詳細(xì)說(shuō)明
生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備:
L4811Ⅱ/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
真空燒結(jié)退火爐是為滿足半導(dǎo)體器件和磁性材料行業(yè)的大批量、高生產(chǎn)率的要求而設(shè)計(jì)的一種較*的燒結(jié)設(shè)備,主要用于管芯和管座的燒結(jié),也可以做擴(kuò)散,退火設(shè)備用。是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
【產(chǎn)品特點(diǎn)】
●加熱元件均布爐膛內(nèi),分布合理;
●爐蓋可設(shè)有熱風(fēng)循環(huán)裝置,可使?fàn)t罐內(nèi)的氣氛及溫度均勻;
●可配真空泵抽氣,增加換氣速度,氣氛更純凈;
● 有保護(hù)氣氛,經(jīng)退火后產(chǎn)品無(wú)氧化,消除加工應(yīng)力,提高鐵心磁性能,降低鐵損;
● 爐溫控制采用PID自動(dòng)調(diào)功平滑控溫。
【主要技術(shù)指標(biāo)】
| 立式真空燒結(jié)退火爐 | 雙工位立式真空燒結(jié)爐 | 臥式真空燒結(jié)退火爐 |
工作溫度 | 400--1250℃ | 800--1200℃ | 400--1250℃ |
單點(diǎn)溫度控制精度 | ≤±1℃/24h | ≤±2℃/24h | ≤±1℃/24h |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度 | ≥200mm±1℃ | ≥400mm±1℃ | ≥400mm±1℃ |
升溫功率 | ≤12KVA | ≤22KW | ≤16KVA |
升溫時(shí)間 | (室溫至1050℃)≤75min | (室溫至1000℃)≤50min | (室溫至1100℃)<75min |
保溫功率 | ≤6KVA | ≤11KVA | ≤8KVA |
重新定值重復(fù)性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | ≤±1℃ |
重開(kāi)機(jī) 重復(fù)性 | ≤±1℃ | ≤±1℃ | :≤±1℃ |
冷態(tài) 真空度 | 5*10-3Pa | 3*10-3 Pa | 5*10-3Pa |