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快速退火爐100～1100℃（廈門(mén)直銷(xiāo)）

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公司名稱廈門(mén)科朋儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地廈門(mén)市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/11/11 11:21:52
訪問(wèn)次數(shù)208

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廈門(mén)科朋有限公司是一家專業(yè)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目系統(tǒng)集成供應(yīng)商，致力于光譜、色譜、生命科學(xué)、物性測(cè)試、實(shí)驗(yàn)室通用設(shè)備及配套試劑、儀器耗材等，產(chǎn)品的銷(xiāo)售及售后服務(wù)。并以專業(yè)、全面的技術(shù)支持和售后服務(wù)贏得了良好聲譽(yù)。

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實(shí)驗(yàn)室COD檢測(cè)儀

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快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱RTP（RapidThermalProcessingFurnace），由我公司借鑒了國(guó)際*制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成，不但擁有極快的升溫速率500℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍100℃/S

快速退火爐100～1100℃（廈門(mén)直銷(xiāo)）產(chǎn)品信息

快速熱處理退火爐簡(jiǎn)稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鑒了國(guó)際*制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成，不但擁有極快的升溫速率500℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍100℃/S。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝，以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫！

腔體采用了雙層石英管結(jié)構(gòu)，外層管進(jìn)氣，內(nèi)層管出氣，使得反應(yīng)氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。

加熱燈管之所以能夠讓硅片快速升溫，是因?yàn)楣庠床ㄩL(zhǎng)在0.3-4微米之間，石英管壁無(wú)法有效吸收這一波段的輻射，而晶片則正好相反。因此，晶片可以吸收輻射能量快速加熱，而此時(shí)石英管壁仍維持低溫，即所謂冷壁工藝。

應(yīng)用領(lǐng)域

Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長(zhǎng)

Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

Ø 硅化 (Silicidation);

Ø 擴(kuò)散 (Diffusion);

Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

Ø 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);

主要特點(diǎn)