| VCF 真 空 碳 管 爐 | 型號 | VCF-25-21-D | |
| 功率 | 25KW | ||
| 電源 | 三相 380V 50/60Hz | ||
| 加熱溫度 | 2100℃ | ||
| 優(yōu) 點(diǎn) | 1、外形緊湊，占地面積小 2、溫度高，溫度可到2100℃ 3、可生長出高純度的單晶 4、真空度高，標(biāo)配擴(kuò)散泵，真空度5×10-3Pa，可選配分子泵，真空度5×10-4Pa 5、操作簡單，設(shè)備帶有一塊10寸觸摸屏，可在觸摸屏中設(shè)置工藝，簡單便捷 | ||
| 加熱碳管尺寸(mm) | Dia130(內(nèi)徑）X220 | ||
| 有效加熱尺寸(mm) | Dia90×120 | ||
| 腔體真空度（擴(kuò)散泵機(jī)組） | < 5×10 -3Pa | ||
| 腔體充氣壓力 | < 0.05MPa | ||
| 升壓率 | <4Pa/小時(shí) | ||
| 原理 | 物料在加熱區(qū)熔化后，升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)坩堝勻速下降，坩堝通過一個(gè)均勻下降的溫度梯度場，熔融的物料晶格按照一定的順序重新排列結(jié)晶，形成有序的晶格常數(shù)。 | ||
| 升降平臺 | 1、物料可以通過自動(dòng)升降平臺到加熱區(qū) 2、升降平臺行程200mm，可以調(diào)節(jié) 3、升降平臺升降速度 0.1um-2000μm/s 4、升降平臺可自動(dòng)，手動(dòng)升降，也可多段速升降 5、升降平臺上下都做了限位，限度的保護(hù)設(shè)備 | ||
| 軟件 |
可在軟件中啟動(dòng)機(jī)械泵，以及各種真空閥 可在軟件中設(shè)置溫度和定向凝固工藝 可在軟件中設(shè)置循環(huán)水報(bào)警溫度 支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、保存、數(shù)據(jù)導(dǎo)出等 | ||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||
| 過溫保護(hù) | 有 | ||
| 過流保護(hù) | 有 | ||
| 欠壓保護(hù)（水壓） | 有 | ||
| 控制精度 | +/- 1℃ | ||
| 溫度檢測方式 | 鎢套管鎢錸熱電偶 | ||
| 升溫速率 | < 20度/Min | ||
| 真空腔體內(nèi)是否水冷 | 是 | ||
| 觀察窗尺寸 | Dia 90mm | ||
| 冷水機(jī)（選配） | 6P | ||
| 真空機(jī)組
| 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |
| 波紋管 | KF40×1000 | ||
| 真空擋板閥 | KF40 | ||
| 前級真空泵BSV-60 | 功率 | 2.2KW | |
| 電壓 | 380V | ||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 16 | ||
| 極限壓強(qiáng) | 5X10 -1Pa | ||
| 擴(kuò)散泵TK200 | 電壓 | 220V | |
| 功率 | 2000W | ||
| 進(jìn)氣接口 | DN200 | ||
| 出氣接口 | DN40 | ||
| 注入油量 | 0.4L | ||
| 抽氣速率（N2） | 2000L/S | ||
| 分子泵（選配）
| 型號 | FF200/1200 | |
| 抽氣速率 | 1200L/S | ||
| 極限壓強(qiáng) | 6×10-6Pa | ||
| 額定轉(zhuǎn)速 | 24000rpm | ||
| 進(jìn)氣口法蘭 | DN200 | ||
| 冷卻水溫度 | ＜25℃ | ||
| 復(fù)合真空計(jì)
| 復(fù)合真空計(jì)型號 | ZDF | |
| 電源 | 220V 55W | ||
| 控制精度 | ± 1% | ||
| 真空計(jì)測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | ||
| 冷水機(jī)
| 電源 | 3PH-380V/50HZ | |
| 制冷量 | 12.3*10³kcal/h | ||
| 輸入總功率 | 6.5KW | ||
| 揚(yáng)程 | 30M | ||
| 水箱容量 | 110L | ||
| 外形尺寸 | 650×1400×1200 | ||
| 凈重 | 180KG | ||
1、結(jié)構(gòu)組成
爐體、爐蓋、爐底、真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、發(fā)熱體及隔熱屏等。
2、結(jié)構(gòu)說明
1）爐體：為立式爐殼，其內(nèi)、外層均為304不銹鋼做成的圓筒，外層鏡面拋光處理。內(nèi)外筒與前后法蘭焊成一個(gè)整體，爐體開有電極孔、抽氣孔、放氣孔、熱電偶孔、紅外孔及觀察孔（爐體正面配觀察孔可以對坩堝狀態(tài)進(jìn)行觀察）等，各接口的材質(zhì)均為不銹鋼。
2）爐蓋：由內(nèi)外封頭和法蘭焊成，中間可通水冷卻，爐蓋開啟裝置。
3）爐底：由內(nèi)外封頭和法蘭組成，中間通水冷卻，下部設(shè)有充放氣孔，固定在爐體下部，設(shè)有電極引出裝置。
3、真空系統(tǒng)：
（1）主要由直聯(lián)泵、分子泵，氣動(dòng)擋板閥、電磁截止閥、數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)、真空管路、放氣閥、支架等組成；真空管道與泵之間采用金屬波紋軟管快速接頭聯(lián)接（減緩震動(dòng)）。
（2）真空主抽泵直聯(lián)泵（北儀優(yōu)成）、分子泵（北京科儀）。
（3）氣動(dòng)擋板閥（川北科技）GDQ-200 1臺 GDQ-J40 2臺
（4）成都睿寶數(shù)顯真空計(jì)ZDF-5227V01 1臺。
（5）真空管路1套，由波紋管、三通管、真空泵、兩個(gè)40真空擋板閥、接口彎管等組成（波紋管內(nèi)Φ40，三通管為40標(biāo)準(zhǔn)尺寸）。
4、電控系統(tǒng)：
所有控制系統(tǒng)集成在控制柜內(nèi)操作。通過PID智能控溫儀表+功率控制器可以實(shí)現(xiàn)智能調(diào)節(jié)、可靠性高，全數(shù)字電路等，電氣系統(tǒng)設(shè)有過流、過壓返饋及保護(hù)電路，電控屏箱按西門子標(biāo)準(zhǔn)制作，控溫精度高，操作方便。
5、水冷系統(tǒng)：爐體、上下端蓋采用夾層水冷的結(jié)構(gòu)形式，在進(jìn)出水主管路上安裝水壓繼電器及壓力表，同時(shí)與控制柜連接，異常狀態(tài)時(shí)報(bào)警。能夠定性的觀察各分水路的水流大小。整個(gè)水冷系統(tǒng)確保各分路回水溫度不高于40℃（進(jìn)水溫度20℃）。水冷系統(tǒng)主進(jìn)直徑40mm、回水管直徑50mm（進(jìn)水壓力0.4MPa）。
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