■概括
螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵又稱為干式螺桿真空泵,是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺杄與右螺杄作髙速轉(zhuǎn)動(dòng),利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí),氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)(柱形等螺距)進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)。兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿,螺杄與泵體之間都有一定的間隙,泵工作時(shí)相互之間無(wú)摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)、噪音低,且工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此螺杄真空泵適用于半導(dǎo)體、電子以及要求潔凈真空的場(chǎng)合,可以代替油封式機(jī)械泵、水封式機(jī)械泵成為新一代的主要真空獲得設(shè)備。
■型號(hào)/性能/參數(shù)
■特點(diǎn)
1.結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小。
2.泵腔內(nèi)無(wú)油,對(duì)真空系統(tǒng)無(wú)污染,提高產(chǎn)品質(zhì)量。
3.泵腔內(nèi)無(wú)油,解決潤(rùn)滑油乳化及頻繁換油、頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問(wèn)題,節(jié)約使用成本。
4.無(wú)廢水、廢油的排放,對(duì)環(huán)境無(wú)污染。
5.能抽除大量水蒸氣和少量粉塵的氣體。增加附件后,也能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。
6.極限真空較高,可代替大部分羅茨水環(huán)以及羅茨往復(fù)式真空機(jī)組。
7.泵腔及螺桿表面可進(jìn)行鍵鎳以及PTFE涂層處理,可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕性介質(zhì)。