常溫大間距高真空混合氣體針板放電試驗(yàn)裝置

1.設(shè)備名稱：

    常溫大間距高真空混合氣體針板放電試驗(yàn)裝置

2.設(shè)備功能：

    在高真空條件下，注入低氣壓試驗(yàn)介質(zhì)氣體，然后施加設(shè)定的高電壓，實(shí)現(xiàn)針板電暈放電，并對放電過程特性進(jìn)行測試。內(nèi)部垂直方向安裝了針板放電電極組，針電極在上通過腔體上部的真空高電壓絕緣子引入高電壓，板電極在下通過專門設(shè)計(jì)的地電極接地，板電極在垂直方向高低可調(diào)。充氣過程的充氣壓力可以實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)節(jié)。

3.設(shè)備特點(diǎn)：

   ①.設(shè)備具有一個(gè)高真空腔體，腔體容積約120L。采用了上下球罐封頭的立式結(jié)構(gòu)腔體。沿圓周方向設(shè)置了3個(gè)石英玻璃視鏡，方便觀察和攝像，其中兩個(gè)互相垂直，另外的呈對視布置。設(shè)置了一個(gè)手孔開門，采用吊裝式開門機(jī)構(gòu)。腔體上方有高電壓引入的絕緣子，引入電壓100KV。裝置配置了油封旋片式雙級真空泵，以及高真空分子泵系統(tǒng)，并安裝了電阻真空規(guī)、電離真空規(guī)、低氣壓壓力傳感器、低氣壓復(fù)合壓力表、低氣壓濕度傳感器等以滿足不同試驗(yàn)氣壓值分段的高精度測量。腔體內(nèi)部進(jìn)行了拋光處理。腔體分別連接了真空抽氣通路和工藝氣體的充氣通路。

   ②.內(nèi)部板電極運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用了絲杠螺套式調(diào)節(jié)方式。通過精密加工和在軸向以及旋鈕圓周的高精度刻度線，可以實(shí)現(xiàn)針板距離調(diào)節(jié)滿足Z小1.5mm移動(dòng)精度。

   ③.為了滿足高精度的充氣氣壓要求，充氣過程通過一組三個(gè)高精度真空微調(diào)閥來進(jìn)行。通過微調(diào)閥開度的控制可以將充氣壓力過程的控制精度到2Pa，有效地防止了過充造成的試驗(yàn)數(shù)據(jù)不穩(wěn)定。另外試驗(yàn)過程可能采用多元混合氣體，所以裝置安裝了三個(gè)真空微調(diào)閥以滿足同時(shí)對不同氣體進(jìn)行充裝作業(yè)。

   ④.系統(tǒng)抽氣泵配置了油封旋片式雙級真空泵做前級泵和高性能高真空分子泵做主泵的分子泵抽氣系統(tǒng)。充氣介質(zhì)氣體采用了瓶裝氣體。

   ⑤.腔體充氣通路閥門采用了高真空手動(dòng)蝶閥，抽氣通路采用了高真空手動(dòng)擋板閥，滿足系統(tǒng)高真空的技術(shù)要求。

   ⑥.腔體設(shè)置了視鏡法蘭的輔助抽氣通路，以便減少視鏡法蘭密封的泄漏和放氣量，達(dá)到系統(tǒng)高真空的技術(shù)要求。

   ⑦.裝置設(shè)計(jì)了成套的PLC控制系統(tǒng)用來實(shí)現(xiàn)對抽氣系統(tǒng)的自動(dòng)連鎖控制?？刂葡到y(tǒng)具有低真空和高真空兩檔控制，根據(jù)需要可以分別使用。當(dāng)需要進(jìn)行低真空試驗(yàn)時(shí)，用低真空檔控制系統(tǒng)只啟動(dòng)旋片泵。當(dāng)進(jìn)行高真空試驗(yàn)時(shí)系統(tǒng)將按照程序順序啟動(dòng)旋片泵和分子泵?？刂葡到y(tǒng)還設(shè)置的分子泵泵前的壓力檢測以方便觀察泵系統(tǒng)的工作狀態(tài)，方便進(jìn)行故障監(jiān)測。

4.設(shè)備主要性能：

    ①.真空性能

    低真空狀態(tài)工作：0.2Pa

    高真空工作狀態(tài)：動(dòng)態(tài)極限4×10^-4Pa

    設(shè)備總體漏率：8×10^-5Pa·m³/s

    ②.正壓試驗(yàn)壓力

    壓力：0.2MPa

    正常試驗(yàn)壓力：0.1MPa

    ③.接入電壓

    100KV

    ④.針板距調(diào)節(jié)

    調(diào)節(jié)范圍：300mm

    調(diào)節(jié)精度：1.5mm

    ⑤.控制方式

    泵PLC程序控制

    閥門手動(dòng)

    針板距調(diào)節(jié)手動(dòng)