刻槽寬度 | 10-30μm, ±2μm |
刻槽深度 | 20-60μm, ±2μm |
刻槽速度 | 2000mm/s |
工作臺平整度 | ±10μm |
工作臺重復(fù)定位精度 | ±10μm |
工作臺行程 | 1200mm×400mm, 可根據(jù)需求定制 |
額定輸入電壓 | 三相, AC 380V, 50 Hz / 60 Hz |
zui大輸入功率 | 8 kW |
尺寸 | 2600mm×1800mm×1400mm |
凈重 | 3500 Kg |
冷卻方式 | 水冷 |