一、設(shè)備用途：
化學(xué)氣相沉積爐主要用于碳化硅（SIC）及氮化硼（BN）等新材料的制備。
二、設(shè)備特點(diǎn)：
1 立式結(jié)構(gòu)，爐門采用絲杠升降或液壓升降/手動升降。
2 雙層爐殼結(jié)構(gòu)，內(nèi)層不銹鋼，外層為碳鋼，中間通水冷卻。石墨碳棒加熱體，石墨碳?xì)直貙颖匦Ч谩?/span>
3 控制方式為PLC加觸摸屏方式，有手動及自動控制切換。自動化程度高，操作方便。
4 主要電器元件采用施耐德及歐姆龍品牌，性能穩(wěn)定、可靠。
5 配備出、裝料料車，方便操作及出裝料，提高工作效率。
三、主要技術(shù)參數(shù)：
| No. | 型號 | 工作區(qū)尺寸（?XH）mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | ZT-60-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
| 2 | ZT-145-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
| 3 | ZT-220-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
| 4 | ZT-270-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
| 5 | ZT-550-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
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