螺桿真空泵是一種抽氣裝置,利用一對螺桿在泵殼內同步高速反方向旋轉,造成抽吸和排氣管實際效果。這是油封機械泵的更新產品,能夠提取含有較多的水蒸氣和少量灰塵的氣體。被廣泛應用于國內制藥業(yè)、化工廠、半導體材料等對潔凈度和真空度要求高的企業(yè)領域。兩個螺絲經過仔細的穩(wěn)定平衡,由滾動軸承支撐,并安裝在泵殼中。螺絲中間具有一定的間隙。因而,當泵運行中,螺桿本身沒有摩擦,運行穩(wěn)定,噪音低,工作室不用潤滑油。因而,干式螺桿泵能夠提取含有較多的水蒸氣和少量灰塵的氣體,具有極限真空度高、功耗低、環(huán)保節(jié)能、經久耐用等優(yōu)點。這是油封機械泵的更新產品。各種機械泵的發(fā)展越來越受到真空應用的影響。一般真空系統(tǒng)無法滿足清潔、全無油和抗腐蝕的要求。因而,近些年,螺桿真空泵的市場需求很大,真空產品也有升級換代的趨勢。大量的油基真空系統(tǒng)已經被全無油和清潔的真空系統(tǒng)所取代。國外幾乎每一家主要的真空公司都生產各種類型螺桿真空泵。螺桿式真空泵是一種非接觸干式泵,出現于20世紀90年代初,是一種令人滿意的泵型。由于其泵送速度范圍廣、結構緊湊緊湊、泵室部件無摩擦、堅固耐用、能耗低、無油污染等優(yōu)點,得到了廣泛的應用。
由于其*的性能,干式螺桿真空泵已成為歐洲、美國和日本微電子、半導體材料、制藥業(yè)和精密加工等行業(yè)的真空采集設備。在螺桿壓縮機的基礎上,日本長期以來一直在開發(fā)用于機械泵的多頭轉子型材,并將其投入市場。德國幾家真空設備公司已經逐步開發(fā)出等螺距和變螺距的轉子輪廓,并對轉子和機身冷卻進行了大量研究。2008年,中國企業(yè)還將螺桿真空泵的生產引入批量生產,在化工廠和制藥行業(yè)得到了很好的應用。