錐齒輪升降機(jī)
是通過轉(zhuǎn)角方式使基板同步升降，并用四點(diǎn)運(yùn)動串連及六點(diǎn)運(yùn)動串連和十二點(diǎn)運(yùn)動串連，使基板高度降低，減少運(yùn)動上的誤差，同時，平面升降更能直接迅速達(dá)到效能，節(jié)省使用空間，提高產(chǎn)量，品質(zhì)穩(wěn)定性更高
而錐齒輪升降平臺通過多臺升降機(jī)同時升降來完成整個平面的升降，與單臺升降機(jī)相比，負(fù)載分散力更加均勻，在運(yùn)行方面更加平穩(wěn)。
運(yùn)動平穩(wěn)，該部件具有較高的靈敏度，在使用時無抖動、爬行現(xiàn)象，摩擦阻力小，因此可以進(jìn)行精密的微量進(jìn)給控制，同時，還能同時傳動幾個相同的部件或裝置，取得較好的同步效果；
使用壽命更長，且接觸面硬化和精磨處理，使用時磨損較小，能有效延長使用壽命；
精度更高，傳動系統(tǒng)可獲得較高的定位及重復(fù)定位精度；
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