羅茨真空泵

一、概況及原理：

羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。二個三葉型轉(zhuǎn)子與泵腔保持一定的間隙，通過一對同步反向旋轉(zhuǎn)高精度齒輪使二個轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)時相互嚙合并保持一定間隙。下圖為泵的結(jié)構(gòu)原理圖，從圖Ⅰ至Ⅳ為轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn)并完成一次吸、排氣的過程。

采用三葉型線轉(zhuǎn)子的羅茨真空泵比傳統(tǒng)二葉型線轉(zhuǎn)子的羅茨真空泵的抽氣效率、容許壓差、溫升、振動、噪聲等主要性能指標都具有明顯的技術(shù)優(yōu)勢。

二、主要特點：

1、轉(zhuǎn)速高、容積效率高、溫升低、振動小。

2、結(jié)構(gòu)簡單、可靠性好，使用、維護更方便。

3、轉(zhuǎn)子被鎖緊，轉(zhuǎn)子無軸向串動現(xiàn)象、故障率更低。

4、與傳統(tǒng)二葉羅茨真空泵比較，抽氣性能優(yōu)勢十分明顯。

5、采用高精度傳動齒輪和精密滾動軸承，噪聲低、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。

6、主軸采用多彈簧平衡式機械密封，確保泵腔無油和泵的長期無泄漏。

7、端蓋密封可采用機械密封、骨架密封、活塞環(huán)迷宮密封等多種結(jié)構(gòu)型式。

8、可與油封機械泵、往復(fù)泵、液環(huán)泵、螺桿型干式泵等前級泵配套，滿足各類工藝要求。

三、應(yīng)用范圍：

羅茨真空泵的優(yōu)點是在較低入口壓力時仍具有較大抽氣效率，但普通羅茨真空泵一般情況下是不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用。當前級真空泵將系統(tǒng)內(nèi)的壓力抽到羅茨真空泵容許啟動壓力后，才可啟動羅茨真空泵。

根據(jù)不同的工作壓力和工藝條件，羅茨真空泵的前級真空泵可采用油封式機械真空泵、液環(huán)式真空泵、螺干干式真空泵等。配置不同類別的前級真空泵后羅茨真空泵各項性能指標有所不同。

羅茨真空泵主要應(yīng)用于需要大抽速和粗、中真空(10³ ～10^－2Pa)的任何真空系統(tǒng)中,例如: 真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝、集中抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。

四、羅茨真空泵主要技術(shù)參數(shù)：

五、性能曲線：

六、外形尺寸：